产品管理
  • 全部
  • 产品管理

Z轴高性价比小体积压电陶瓷纳米台P-611.Z


P-611.Z 压电Z向位移台
结构紧凑:表面仅44 毫米×44 毫米
行程100微米
分辨率达0.2纳米
极其经济实惠的系统(机械部件和控制器)
零间隙,高精度柔性铰链导向系统
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
X、XY、XZ和XYZ型

产品数据表下载:

undefined
+
  • undefined
  • 产品描述
  • 数据图表
  • 订购询价
  • 品牌内容
    • 品牌: 德国PI
    • 商品名称: Z轴高性价比小体积压电陶瓷纳米台P-611.Z
    • 商品编号: NX-05-2 P-611.Z
    • 概要介绍: P-611.Z 压电Z向位移台<br> 结构紧凑:表面仅44 毫米×44 毫米 <br> 行程100微米 <br> 分辨率达0.2纳米 <br> 极其经济实惠的系统(机械部件和控制器) <br> 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 <br> PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 <br> X、XY、XZ和XYZ型 <br>

    应用领域

    微加工

    光子

    光纤定位

    测试程序和质量保证

     

    零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

    柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

     

    PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

    的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

     

    规格

     

    P-611.ZS

    P-611.Z0

    单位

    公差

    主动轴

    Z

    Z

       

    运动和定位

           

    集成传感器

    应变片传感器

    -

       

    -20至+120伏时的开环行程

    120

    120

    微米

    +20 % / -0 %

    行程,闭环

    100

    -

    微米

     

    分辨率,开环

    0.2

    0.2

    纳米

    典型值

    分辨率,闭环

    2

    -

    纳米

    典型值

    线性误差

    0.1

    -

    %

    典型值

    重复精度

    <10

    -

    纳米

    典型值

    θZ向上的倾斜(Z向运动)

    ±5

    ±5

    微弧度

    典型值

    θX向上的倾斜(Z向运动)

    ±20

    ±20

    微弧度

    典型值

    θY向上的倾斜(Z向运动)

    ±5

    ±5

    微弧度

    典型值

    机械特性

           

    刚度

    0.45

    0.45

    牛/微米

    ±20 %

    谐振频率,空载

    460

    460

    赫兹

    ±20 %

    带30克负载时的谐振频率

    375

    375

    赫兹

    ±20 %

    带100克负载时的谐振频率

    265

    265

    赫兹

    ±20 %

    推/拉力大小

    15 / 10

    15 / 10

    牛

    最大

    驱动特性

           

    陶瓷类型

    PICMAP-885

    PICMAP-885

       

    电容

    1.5

    1.5

    微法

    ±20 %

    其他

           

    工作温度范围

    -20 到 80

    -20 到 80

    °C

     

    材料

    铝、钢

    铝、钢

       

    尺寸

    44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米

    44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米

       

    质量

    176

    176

    克

    ±5 %

    电缆长度

    1.5

    1.5

    米

    ±10 毫米

    传感器连接

    LEMO

    LEMO

       

    电压连接

    LEMO

    LEMO

       

    推荐电控

    E-610、E-625、E-665、E-836

    E-610、E-625、E-665、E-836

       

    因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

    所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。

    系统特性

    系统配置:P-611.ZS和E-665.SR控制器带30 克负载

    小信号带宽:40赫兹

    稳定时间(10 %步长):25毫秒

     

        

    关键词:
    • P-750 压电纳米定位器
    • P-750
  • 图纸/图片

    P-611.ZS,尺寸单位为毫米

     

     

    负载为30克的P-611.ZS执行10微米步进的稳定时间为26毫秒。

Z轴带通孔压电陶瓷纳米台P-612.Z

描述:

精密压电陶瓷纳米台P-620.1 – P-629.1

描述:

高负载精密压电陶瓷纳米台P-750

描述:

显微镜专用Z轴压电陶瓷扫描台P-736

描述:

应用指南