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显微及生命科学

显微及生命科学

从基因组研究到疾病的准确诊断,再到外科手术的创新解决方案 显微镜样本定位和超快速聚焦解决方案 高精度定位微创手术器械 超声波靶向治疗 压电微泵新疗法

大型科学装置项目

大型科学装置项目

用前沿科学研究中的可靠实验和创新设备 极端条件下的微米和纳米定位技术和先进实验设施 天文观测中的定位解决方案 粒子加速器高能辐射的样品操纵/光束制备/光学元件/探测器的对准

工业自动化

工业自动化

精密生产/工艺监控的定位、配量及测量解决方案 智能自动化解决方案 在激光材料加工精密移动组件或测试设备 电子元件微结构加工 非接触式监控的解决方案 复杂多轴解决方案

半导体制造

半导体制造

为半导体设备供应商提供高精度、可靠的运动与控制解决方案,实现纳米甚至亚纳米级精度和高动态移动元件精密定位能力,以满足半导体制造业的高要求

应用方案 * 高动态激光束Z轴焦点移位器

改善激光加工工艺不仅要求平面内的快速运动,还要求工件中光束能量的快速主动垂直移动

应用方案 * 微米级几何形状的激光材料加工

用于创建微米级微小几何形状的加工平台需使用运动系统,以便在多个维度上提供一致、准确和动态的加工。

应用方案 * 用于晶圆切片的高精度激光加工

制造芯片和微芯片涉及使用称为晶圆切片的工艺将晶圆切割成小方块或矩形“芯片”或“晶粒”。晶圆切片应用中需要考虑的典型挑战包括:准确定位切口、较大限度地减少材料损耗和较大限度地减少元件变形。

应用方案 * XL SCAN – 大面积激光加工

在大面积上加工高密度结构,如PCB的激光钻孔或激光打标,需要提供高精度和高吞吐量的解决方案。多轴定位系统与高动态振镜扫描仪的组合可以满足工业生产的需求。

应用方案 * 用于工业激光加工的可扩展解决方案

可改善激光材料加工(如激光钻孔、激光切割和激光微加工)中精密自动化的实施和性能的一体化多轴平台解决方案。

应用介绍 * 在激光材料加工领域的重要应用

用于提高激光材料加工产能和精度的高性能运动与控制解决方案,激光烧蚀/激光微加工/激光焊接/激光切割/激光钻孔

应用方案 * 高密度微孔的激光钻孔

通过正确组合适当的运动技术和用户友好型控制策略,将激光功率、重复频率和激光频率与运动同步,可在广泛范围内保持孔的精度和密度,从而提高激光钻孔过程的吞吐量和质量。

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