PIHera压电陶瓷线性精密定位器

行程为50至1800微米 ▪ 分辨率达0.1纳米
▪ 线性误差 0.02 %
▪ X、XY、Z版本;可提供XYZ组合
▪ 真空兼容版本达10-9百帕

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产品描述
规格

- 商品名称: PIHera压电陶瓷线性精密定位器
- 商品编号: P-620.1 – P-629.1
- 概要介绍: 行程为50至1800微米 ▪ 分辨率达0.1纳米<br> ▪ 线性误差 0.02 %<br> ▪ X、XY、Z版本;可提供XYZ组合<br> ▪ 真空兼容版本达10-9百帕
应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
- 光子
- 光纤定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

	P-620.1CDP-620.1CL	P-621.1CDP-621.1CL	P-622.1CDP-622.1CL	P-625.1CDP-625.1CL	P-628.1CDP-628.1CL	P-629.1CDP-629.1CL	单位	公差
主动轴	X	X	X	X	X	X

运动和定位	P-620.1CDP-620.1CL	P-621.1CDP-621.1CL	P-622.1CDP-622.1CL	P-625.1CDP-625.1CL	P-628.1CDP-628.1CL	P-629.1CDP-629.1CL	单位	公差
集成传感器	电容式	电容式	电容式	电容式	电容式	电容式
-20至120 伏时的开环行程	60	120	300	600	950	1800	微米	+20 % / -0 %
行程，闭环	50	100	250	500	800	1500	微米
分辨率，闭环/开环	0.2 / 0.1	0.4 / 0.2	0.7 / 0.4	1.4 / 0.5	1.8 / 0.5	3 / 2	纳米	典型值
线性误差，闭环	0.02	0.02	0.02	0.03	0.03*	0.03**	%	典型值
重复精度	±1	±1	±1	±5	±10	±14	纳米	典型值
螺距/偏转角	±3	±3	±3	±6	±6	±30 / ±10	微弧度	典型值

机械特性	P-620.1CDP-620.1CL	P-621.1CDP-621.1CL	P-622.1CDP-622.1CL	P-625.1CDP-625.1CL	P-628.1CDP-628.1CL	P-629.1CDP-629.1CL	单位	公差
运动方向上的刚性	0.42	0.35	0.2	0.1	0.12	0.13	牛/微米	±20 %
谐振频率，空载	1100	800	400	215	125	125	赫兹	±20 %
带20 克负载时的谐振频率	550	520	340	180	115	120	赫兹	±20 %
带120 克负载时的谐振频率	260	240	185	110	90	110	赫兹	±20 %
运动方向上的推/拉力	10	10	10	10	10	10	牛	最大
负载容量	10	10	10	10	10	10	牛	最大
侧力	10	10	10	10	10	8	牛	最大

驱动特性	P-620.1CDP-620.1CL	P-621.1CDP-621.1CL	P-622.1CDP-622.1CL	P-625.1CDP-625.1CL	P-628.1CDP-628.1CL	P-629.1CDP-629.1CL	单位	公差
压电陶瓷	PICMAP–883	PICMAP–885	PICMAP–885	PICMAP–885	PICMAP–887	PICMAP–888
电容	0.35	1.5	3.1	6.2	19	52	微法	±20 %

其他	P-620.1CDP-620.1CL	P-621.1CDP-621.1CL	P-622.1CDP-622.1CL	P-625.1CDP-625.1CL	P-628.1CDP-628.1CL	P-629.1CDP-629.1CL	单位	公差
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
尺寸	30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米	40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米	50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米	60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米	80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米	100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米
质量	0.11	0.16	0.2	0.24	0.38	0.72	千克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO
推荐电控	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754