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PIHera压电陶瓷线性精密定位器


行程为50至1800微米 ▪ 分辨率达0.1纳米
▪ 线性误差 0.02 %
▪ X、XY、Z版本;可提供XYZ组合
▪ 真空兼容版本达10-9百帕

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    • 商品名称: PIHera压电陶瓷线性精密定位器
    • 商品编号: P-620.1 – P-629.1
    • 概要介绍: 行程为50至1800微米 ▪ 分辨率达0.1纳米<br> ▪ 线性误差 0.02 %<br> ▪ X、XY、Z版本;可提供XYZ组合<br> ▪ 真空兼容版本达10-9百帕

    应用领域

    • 干涉测量
    • 显微镜
    • 纳米定位
    • 生物技术
    • 测试应用
    • 半导体技术
    • 光子
    • 光纤定位

    带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

    电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

    直接位置测量带来最大精度

    运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

    PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

    的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

    零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

    柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

    适用于复杂真空应用

    压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

  •  

    P-620.1CDP-620.1CL

    P-621.1CDP-621.1CL

    P-622.1CDP-622.1CL

    P-625.1CDP-625.1CL

    P-628.1CDP-628.1CL

    P-629.1CDP-629.1CL

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

    X

    X

    X

     

     

    运动和定位

    P-620.1CDP-620.1CL

    P-621.1CDP-621.1CL

    P-622.1CDP-622.1CL

    P-625.1CDP-625.1CL

    P-628.1CDP-628.1CL

    P-629.1CDP-629.1CL

    单位

    公差

    集成传感器

    电容式

    电容式

    电容式

    电容式

    电容式

    电容式

     

     

    -20至120 伏时的开环行程

    60

    120

    300

    600

    950

    1800

    微米

    +20 % / -0 %

    行程,闭环

    50

    100

    250

    500

    800

    1500

    微米

     

    分辨率,闭环/开环

    0.2 / 0.1

    0.4 / 0.2

    0.7 / 0.4

    1.4 / 0.5

    1.8 / 0.5

    3 / 2

    纳米

    典型值

    线性误差,闭环

    0.02

    0.02

    0.02

    0.03

    0.03*

    0.03**

    %

    典型值

    重复精度

    ±1

    ±1

    ±1

    ±5

    ±10

    ±14

    纳米

    典型值

    螺距/偏转角

    ±3

    ±3

    ±3

    ±6

    ±6

    ±30 / ±10

    微弧度

    典型值

    机械特性

    P-620.1CDP-620.1CL

    P-621.1CDP-621.1CL

    P-622.1CDP-622.1CL

    P-625.1CDP-625.1CL

    P-628.1CDP-628.1CL

    P-629.1CDP-629.1CL

    单位

    公差

    运动方向上的刚性

    0.42

    0.35

    0.2

    0.1

    0.12

    0.13

    牛/微米

    ±20 %

    谐振频率,空载

    1100

    800

    400

    215

    125

    125

    赫兹

    ±20 %

    带20 克负载时的谐振频率

    550

    520

    340

    180

    115

    120

    赫兹

    ±20 %

    带120 克负载时的谐振频率

    260

    240

    185

    110

    90

    110

    赫兹

    ±20 %

    运动方向上的推/拉力

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    最大

    负载容量

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    最大

    侧力

    10

    10

    10

    10

    10

    8

    最大

    驱动特性

    P-620.1CDP-620.1CL

    P-621.1CDP-621.1CL

    P-622.1CDP-622.1CL

    P-625.1CDP-625.1CL

    P-628.1CDP-628.1CL

    P-629.1CDP-629.1CL

    单位

    公差

    压电陶瓷

    PICMAP–883

    PICMAP–885

    PICMAP–885

    PICMAP–885

    PICMAP–887

    PICMAP–888

     

     

    电容

    0.35

    1.5

    3.1

    6.2

    19

    52

    微法

    ±20 %

    其他

    P-620.1CDP-620.1CL

    P-621.1CDP-621.1CL

    P-622.1CDP-622.1CL

    P-625.1CDP-625.1CL

    P-628.1CDP-628.1CL

    P-629.1CDP-629.1CL

    单位

    公差

    工作温度范围

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    °C

     

    材料

     

     

    尺寸

    30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米

    40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米

    50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米

    60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米

    80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米

    100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米

     

     

    质量

    0.11

    0.16

    0.2

    0.24

    0.38

    0.72

    千克

    ±5 %

    电缆长度

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    ±10 毫米

    传感器/电压连接

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

    CD版本:Sub-D 7W2(公头)

    CL版本:LEMO

     

     

    推荐电控

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

    E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754

     

     

    *带数字式控制器。带模拟量控制器0.05 %。

    **带数字式控制器。带模拟量控制器0.08 %。

    因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

    不带传感器的版本的订购编码为P-62x.Z0L;工作温度范围为-20至150 摄氏度;LEMO电压连接。

    可提供真空达10-9 百帕的版本,订购编码为P-62x.1UD。

    所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。