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显微及生命科学

显微及生命科学

从基因组研究到疾病的准确诊断,再到外科手术的创新解决方案 显微镜样本定位和超快速聚焦解决方案 高精度定位微创手术器械 超声波靶向治疗 压电微泵新疗法

大型科学装置项目

大型科学装置项目

用前沿科学研究中的可靠实验和创新设备 极端条件下的微米和纳米定位技术和先进实验设施 天文观测中的定位解决方案 粒子加速器高能辐射的样品操纵/光束制备/光学元件/探测器的对准

工业自动化

工业自动化

精密生产/工艺监控的定位、配量及测量解决方案 智能自动化解决方案 在激光材料加工精密移动组件或测试设备 电子元件微结构加工 非接触式监控的解决方案 复杂多轴解决方案

半导体制造

半导体制造

为半导体设备供应商提供高精度、可靠的运动与控制解决方案,实现纳米甚至亚纳米级精度和高动态移动元件精密定位能力,以满足半导体制造业的高要求

应用方案 * 全内反射荧光显微术(TIRFM)的定位解决方案

在三个维度上都可实现1纳米的定位精度(X、Y和Z)。为了深入观察和显像,它在X和Y方向上执行纳米步进,以扫描整个样本。极其精细的运动使得Z向上可进行三维测量,从而实现焦点的相关位移。

应用方案*共聚焦显微镜聚焦面的调整

基于压电陶瓷的驱动解决方案可在高达数百微米的范围内以几纳米的重复精度定位物镜。随后,各独立的图像相互叠加,从而产生高分辨率的3-D图像。

应用介绍 * 六足位移台在微生产领域中的应用

六足位移台是一种六轴并联运动定位系统,这种系统可以沿空间的六条轴(三条线性轴和三条旋转轴)对元器件、照相系统或光纤等负载进行定位,相比串联或堆叠系统具有以下优势:在所有运动轴上,路径精度更高、行程重复性和平整度更好、移动质量更低,动态性能更佳。

应用介绍*光子集成电路元件组装平台

集成光子电路生产的真正突破,PI的超快速高精度有源对准系统是该光子元件组装平台的核心

应用方案 * 压电/音圈快反镜用于空间光通信

PI压电或电磁快速偏摆镜(FSM)是经验证的地球和太空激光束控制解决方案

应用介绍 * 纳米级高速多通道光子学主动对准技术

PI的快速、多通道光子学对准(FMPA)技术是一套固件级命令,内置于其最高性能的数字纳米定位和六足位移台控制器中。

应用方案 * 纳米级六自由度对象定位

六自由度,并联运动设计 – 行程达500微米/1.5度 – 纳米级精度

应用方案 * 自动多通道光纤阵列对准

基于成熟的双面F-712.HA2光纤对准系统和PI的多轴龙门系统的多通道自动光纤组件安装为进一步的工作流程自动化提供了新思路。

应用方案 * ALMA大型毫米/亚毫米波阵列天文望远镜对准

PI的专用定位系统:六足位移台用于将天线的大型反射镜收集的宇宙无线电波对准聚焦到副反射器上

应用方案 * 显微镜的纳米定位

准确定位是所有类型显微镜中的关键要素。高分辨率显微镜必须能够准确且可重复地定位成像元件和样本。

应用介绍 * SiPh晶圆级硅光子全自动测试

晶圆级硅光子的全自动测试 - 在硅芯片上集成光子结构或元件已达到晶圆级,必须光子元件结构进行六个自由度的高精度对准以测试其光学特性

应用方案 * 纳米级压电陶瓷有源垫片

具有长期稳定性和纳米级分辨率的有源压电陶瓷垫片

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