Z轴带通孔高速高精度压电陶瓷扫描台P-733.Z

P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
行程100微米
带电容式传感器的直接计量
分辨率达0.3纳米，闭环
通孔尺寸50毫米×50毫米
可提供带附加自由度的其他版本
可提供XY和XYZ版本
可提供真空兼容版本

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品牌: 德国PI
商品名称: Z轴带通孔高速高精度压电陶瓷扫描台P-733.Z
商品编号: NX-08 P-733.Z
概要介绍: P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪 行程100微米 带电容式传感器的直接计量 分辨率达0.3纳米，闭环 通孔尺寸50毫米×50毫米 可提供带附加自由度的其他版本 可提供XY和XYZ版本 可提供真空兼容版本

应用领域

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面测量技术

纳米压印

显微操纵

图像处理/稳定

高运动平面度和直线度的纳米定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

规格

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

关键词:

图纸/图片

Step response of the P-733.ZCD. Settling time is 10 ms.

P-733.Z, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.