LISA线性促动器和平台

同时为平台和促动器提供导向
行程达38 微米
分辨率 0.1 nm
可提供非磁性版本
直接驱动可实现极其快速的响应行为
电容式传感器带来最高线性度

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产品描述
规格

- 商品名称: LISA线性促动器和平台
- 商品编号: P-753
- 概要介绍: 同时为平台和促动器提供导向 行程达38 微米 分辨率 0.1 nm 可提供非磁性版本 直接驱动可实现极其快速的响应行为 电容式传感器带来最高线性度
　　应用领域

　　扫描显微镜

　　测量技术

　　测试程序和质量保证

　　光子

　　光纤定位

　　带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

　　电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

　　直接位置测量带来最大精度

　　运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

　　PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态

　　带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

　　PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

　　零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

　　柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

　　适用于复杂真空应用

　　压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

	P-753.1CD	P-753.2CD	P-753.3CD	单位	公差
主动轴	X	X	X
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	电容式
行程，闭环	15	30	38	微米
分辨率，闭环	0.1	0.2	0.25	纳米	典型值
线性误差，闭环	0.03	0.03	0.03	%	典型值
重复精度	±1	±2	±3	纳米	典型值
螺距/偏转角	±5	±7	±10	微弧度	典型值
机械特性
运动方向上的刚性	45	24	16	牛/微米	±20 %
谐振频率，空载	5.6	3.7	2.9	千赫兹	±20 %
带200 克负载时的谐振频率	2.5	1.7	1.4	千赫兹	±20 %
运动方向上的推/拉力	100 / 20	100 / 20	100 / 20	牛	最大
负载能力（垂直/水平操作）	10 / 2	10 / 2	10 / 2	千克	最大
驱动特性
陶瓷类型	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885
电容	1.5	3.1	4.6	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	钢	钢	钢
尺寸	44 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米	62 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米	80 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
质量	0.16	0.215	0.26	千克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	D-sub 7W2（公头）	D-sub 7W2（公头）	D-sub 7W2（公头）
推荐电控	E-625，E-754	E-625，E-754	E-625，E-754