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LISA线性促动器和平台


同时为平台和促动器提供导向
行程达38 微米
分辨率 0.1 nm
可提供非磁性版本
直接驱动可实现极其快速的响应行为
电容式传感器带来最高线性度

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    • 商品名称: LISA线性促动器和平台
    • 商品编号: P-753
    • 概要介绍: 同时为平台和促动器提供导向<br> 行程达38 微米<br> 分辨率 0.1 nm<br> 可提供非磁性版本<br> 直接驱动可实现极其快速的响应行为<br> 电容式传感器带来最高线性度

      应用领域

      扫描显微镜

      测量技术

      测试程序和质量保证

      光子

      光纤定位

      带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

      电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

      直接位置测量带来最大精度

      运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

      PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态

      带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移,带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度,并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。

          PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

      PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

      零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

      柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

      适用于复杂真空应用

      压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

  •   

    P-753.1CD

    P-753.2CD

    P-753.3CD

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

     

     

    运动和定位

     

     

     

     

     

    集成传感器

    电容式

    电容式

    电容式

     

     

    行程,闭环

    15

    30

    38

    微米

     

    分辨率,闭环

    0.1

    0.2

    0.25

    纳米

    典型值

    线性误差,闭环

    0.03

    0.03

    0.03

    %

    典型值

    重复精度

    ±1

    ±2

    ±3

    纳米

    典型值

    螺距/偏转角

    ±5

    ±7

    ±10

    微弧度

    典型值

    机械特性

     

     

     

     

     

    运动方向上的刚性

    45

    24

    16

    牛/微米

    ±20 %

    谐振频率,空载

    5.6

    3.7

    2.9

    千赫兹

    ±20 %

    带200 克负载时的谐振频率

    2.5

    1.7

    1.4

    千赫兹

    ±20 %

    运动方向上的推/拉力

    100 / 20

    100 / 20

    100 / 20

    最大

    负载能力(垂直/水平操作)

    10 / 2

    10 / 2

    10 / 2

    千克

    最大

    驱动特性

     

     

     

     

     

    陶瓷类型

    PICMAP-885

    PICMAP-885

    PICMAP-885

     

     

    电容

    1.5

    3.1

    4.6

    微法

    ±20 %

    其他

     

     

     

     

     

    工作温度范围

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    °C

     

    材料

     

     

    尺寸

    44 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米

    62 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米

    80 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米

     

     

    质量

    0.16

    0.215

    0.26

    千克

    ±5 %

    电缆长度

    1.5

    1.5

    1.5

    ±10 毫米

    传感器/电压连接

    D-sub 7W2(公头)

    D-sub 7W2(公头)

    D-sub 7W2(公头)

     

     

    推荐电控

    E-625,E-754

    E-625,E-754

    E-625,E-754

     

     

    因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

    可提供带LEMO连接器的版本,如 P-753.x1C。

    可提供真空达10-9百帕的版本,如P-753.xUD。

    可提供非磁性版本,如P-753.xND。

    所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。