NanoCubeXYZ压电陶瓷系统
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- 商品名称: NanoCubeXYZ压电陶瓷系统
- 商品编号: P-611.3
- 概要介绍: 用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统 行程达120 微米×120 微米×120 微米 超紧凑型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米 分辨率达0.2纳米 快速响应行为 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 用于快速扫描 带集成式光纤夹持器的版本 极其经济实惠的系统
应用领域
光子学/集成光学
显微操纵
生物技术
半导体测试
光纤定位
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
规格
P-611.3S
P-611.3SF
P-611.3O
P-611.3OF
单位
公差
主动轴
X、Y、Z
X、Y、Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
-20至120 伏时的开环行程
120/轴
120/轴
微米
+20 % / -0 %
行程，闭环
100/轴
–
微米
分辨率，开环
0.2
0.2
纳米
典型值
分辨率，闭环
1
–
纳米
典型值
线性误差
0.1
–
%
典型值
重复精度
<10
–
纳米
典型值
X、Y向上的螺距
±5
±5
微弧度
典型值
θX向上的倾斜（Z向运动）
±10
±10
微弧度
典型值
X向上的偏转角
±20
±20
微弧度
典型值
Y向上的偏转角
±10
±10
微弧度
典型值
θY向上的倾斜（Z向运动）
±10
±10
微弧度
典型值
机械特性
刚度
0.3
0.3
牛/微米
±20 %
X / Y / Z向上的空载谐振频率
350 / 220 / 250
350 / 220 / 250
赫兹
±20 %
带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
270 / 185 / 230
270 / 185 / 230
赫兹
±20 %
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
180 / 135 / 200
180 / 135 / 200
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
15 / 10
15 / 10
牛
最大
负载容量
15
15
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
1.5
1.5
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
铝、钢
尺寸
S版本：
48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
SF版本：
44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
O版本：
44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
OF版本：
44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
质量
0.32
0.32
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
电压连接
Sub-D25针（公头）
Sub-D25针（公头）
传感器连接
Sub-D25针（公头）
–
推荐电控
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
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