带通孔高精度高速XYZ轴压电陶瓷纳米台P-733.3

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器
X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米
电容式传感器使分辨率达0.1纳米
带直接驱动器的高速版本
超高真空兼容和非磁性版本
并联运动实现更高精度和动态
导向误差主动补偿的并行计量
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

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品牌: 德国PI
商品名称: 带通孔高精度高速XYZ轴压电陶瓷纳米台P-733.3
商品编号: NXYZ-04 P-733.3
概要介绍: P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器 X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米 电容式传感器使分辨率达0.1纳米 带直接驱动器的高速版本 超高真空兼容和非磁性版本 并联运动实现更高精度和动态 导向误差主动补偿的并行计量 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

应用领域

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面测量技术

纳米压印

显微操纵

图像处理/稳定

高运动平面度和直线度的纳米定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

规格

	P-733.3CDP-733.3CL	P-733.3DD	单位	公差
主动轴	X、Y、Z	X、Y、Z
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式
-20至120 伏时的开环行程	115 微米×115 微米×12 微米	33 微米×33 微米×14 微米		+20 % / -0 %
行程，闭环	100 微米×100 微米×10 微米	30 微米×30 微米×10 微米
分辨率，开环	0.2（Z向上为0.1）	0.1	纳米	典型值
分辨率，闭环	0.3（Z向上为0.2）	0.1	纳米	典型值
线性误差（X、Y）	0.03	0.03*	%	典型值
线性误差（Z）	0.03	0.03*	%	典型值
重复精度（X、Y）	<2	<2	纳米	典型值
重复精度（Z）	<1	<1	纳米	典型值
螺距（X、Y）	<±3	<±5	微弧度	典型值
偏转角（X、Y）	<±10	<±10	微弧度	典型值
Z向运动时的倾斜	<±5	<±5	微弧度	典型值
机械特性
刚度	1.4（Z向上为9）	4（Z向上为10）	牛/微米	±20 %
谐振频率，空载	460（Z向上为1400）	1200（Z向上为1100）	赫兹	±20 %
带120 克负载时的谐振频率	340（Z向上为1060）	–	赫兹	±20 %
带200 克负载时的谐振频率	295（Z向上为650）	530（Z向上为635）	赫兹	±20 %
运动方向上的推/拉力	50 / 20	50 / 20	牛	最大
驱动特性
压电陶瓷	PICMAP-885	PICMAP-885
电容	6（Z向上为2.4）	6.2（Z向上为3.3）	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	铝	铝
质量	0.675	0.675	千克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO	Sub-D25W3（公头）
推荐电控	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712

* 带数字式控制器。使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

关键词:

XYZ压电纳米台

图纸/图片

P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.

P-733.3DD, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.