PIMars纳米定位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统
并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
行程达300 × 300 × 300微米
电容式传感器带来最高线性度
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
优异的扫描平面度
高动态XYZ版本
通孔尺寸66 毫米×66毫米
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
超高真空版本达10-9百帕

产品数据表下载：

P-561-P-562-P-563-Datasheet-CN(1)

文件预览

留言反馈 >>

产品询价

产品描述
数据图表
订购询价
品牌内容

商品名称: PIMars纳米定位平台
商品编号: P-561 • P-562 • P-563
概要介绍: 用于多达3轴的高精度纳米定位系统 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度 行程达300 × 300 × 300微米 电容式传感器带来最高线性度 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 优异的扫描平面度 高动态XYZ版本 通孔尺寸66 毫米×66毫米 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 超高真空版本达10-9百帕

应用领域

扫描显微镜

掩模/晶圆定位

干涉测量

测量技术

生物技术

扫描和筛选

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

	P-561.3CDP-561.3CL	P-562.3CDP-562.3CL	P-563.3CDP-563.3CL	P-561.3DD	单位	公差
PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统，闭环行程	100 × 100 × 100	200 × 200 × 200	300 × 300 × 300	45 × 45 × 15，直接驱动	微米
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	电容式	电容式
-20至120伏时的开环行程	150 × 150 × 150	300 × 300 × 300	340 × 340 × 340	58 × 58 × 18	微米	+20 % / -0 %
分辨率，开环	0.2	0.4	0.5	0.1	纳米	典型值
分辨率，闭环	0.8	1	2	0.2	纳米	典型值
线性误差	0.03	0.03	0.03	0.01*	%	典型值
X/Y/Z向上的重复精度	2 / 2 / 2	2 / 2 / 4	2 / 2 / 4	2 / 2 / 2	纳米	典型值
X、Y向上的螺距	±1	±2	±2	±3	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的串扰（Z向运动）	±15	±20	±25	±3	微弧度	典型值
X、Y向上的偏转角	±6	±10	±10	±3	微弧度	典型值
X、Y向上的平面度	±15	±20	±25	±10	纳米	典型值
X、Y向上的串扰（Z向运动）	±30	±50	±50	±20	纳米	典型值
机械特性
X/Y/Z向上的空载谐振频率	190 / 190 / 380	160 / 160 / 315	140 / 140 / 250	920 / 920 / 1050	赫兹	±20 %
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率	-	145 / 145 / 275	120 / 120 / 215	860 / 860 / 950	赫兹	±20 %
带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率	140 / 140 / 300	130 / 130 / 195	110 / 110 / 170	500 / 500 / 470	赫兹	±20 %
负载容量**	5	5	5	5	千克	最大
驱动特性
压电陶瓷	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAZ向上的P-885，XY向上的P-888
X/Y/Z向上的电容	5.2 / 5.2 / 10.4	7.4 / 7.4 / 14.8	7.4 / 7.4 / 14.8	38 / 38 / 6	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	铝	铝	铝	铝
质量	1.45	1.45	1.45	1.55	千克	±5 %
传感器/电压连接	CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO	CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO	CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO	CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO
推荐电控	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727