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带通孔高精度大行程XYZ轴压电陶瓷纳米台P-561 • P-562 • P-563


用于多达3轴的高精度纳米定位系统 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度 行程达300 × 300 × 300微米 电容式传感器带来最高线性度 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 优异的扫描平面度 高动态XYZ版本 通孔尺寸66 毫米×66毫米 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 超高真空版本达10-9百帕

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 带通孔高精度大行程XYZ轴压电陶瓷纳米台P-561 • P-562 • P-563
    • 商品编号: P-561 • P-562 • P-563
    • 概要介绍: 用于多达3轴的高精度纳米定位系统 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度 行程达300 × 300 × 300微米 电容式传感器带来最高线性度 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 优异的扫描平面度 高动态XYZ版本 通孔尺寸66 毫米×66毫米 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 超高真空版本达10-9百帕

    描述

    应用领域

    • 扫描显微镜
    • 掩模/晶圆定位
    • 干涉测量
    • 测量技术
    • 生物技术
    • 扫描和筛选

    PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

    的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

    带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

    电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

    零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

    柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

    自动配置和快速部件更换

    机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

    并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

    各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

    适用于复杂真空应用

    压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。