微型亚微米级高精密音圈电机Z轴平台V-308.753030

可调行程范围限制，行程总范围为1至7mm
高动态直接驱动器
集成的重力补偿达1kg，可由用户调整
最小位移为10nm
重载交叉滚柱导轨
适合的可选配件，例如：物镜支架

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品牌: 德国PI
商品名称: 微型亚微米级高精密音圈电机Z轴平台V-308.753030
商品编号: V-308.753030
概要介绍: 可调行程范围限制，行程总范围为1至7mm 高动态直接驱动器 集成的重力补偿达1kg，可由用户调整 最小位移为10nm 重载交叉滚柱导轨 适合的可选配件，例如：物镜支架

V-308 用于物镜的音圈PIFOC聚焦驱动器-规格
运动	V-308.753030	公差
主动轴	Z
Z向上的行程	7 mm
Z向上的加速度，空载	8 m/s²	max.
Z向上的最大速度，空载	200 mm/s
X向上的直线度误差	± 0.75 µm	max.
Y向上的直线度误差	± 0.75 µm	max.
绕X的角度误差	± 50 µrad	max.
绕Y的角度误差	± 50 µrad	max.
绕Z的角度误差	± 50 µrad	max.
定位	V-308.753030	公差
Z向上的最小位移	0.01 µm	typ.
Z向上的已校准定位精度	± 0.6 µm	typ.
Z向上的未校准定位精度	± 4 µm	typ.
Z向上的双向重复精度	1 µm	typ.
Z向上的双向重复精度，步长为100nm	50 nm
参考点开关	光学、方向感应（参考边缘跟踪），5V，TTL
参考点开关重复精度	0.5 µm
集成传感器	PIOne：增量直线光栅尺
传感器信号	正弦/余弦，1Vpp
传感器信号周期	2 µm
Z向上的系统分辨率	1 nm
传感器分辨率	1 nm
Z向上的位置噪声	3 nm	max.
Z向上的稳定时间（100nm步长，±15nm误差带）	15 ms
Z向上的稳定时间（250nm步长，±15nm误差带）	15 ms
驱动性能	V-308.753030	公差
驱动类型	音圈
标称电压	48 V
标称电流，均方根	1.15 A	typ.
峰值电流，均方根	3.5 A	typ.
Z向上的正向运动的驱动力	4.2 N	typ.
Z向上的负向运动的驱动力	4.2 N	typ.
Z向上的正向运动的峰值力	9.45 N
Z向上的负向运动的峰值力	9.45 N
力常数	2.7 N/A
电机常数	1.37 N/√W	typ.
相间电阻	3.9 Ω	typ.
相间电感	0.85 mH
反电动势	2.7 V·s/m	max.
驱动元件的允许最高温度	50 °C
机械性能	V-308.753030	公差
X向上的允许推力	10 N	max.
Y向上的允许推力	10 N	max.
Z向上的允许推力	10 N	max.
Z向上的移动质量，空载	200 g
导轨	交叉滚柱导轨
总质量	600 g
不含电缆的质量	450 g
材料	铝，阳极氧化
其他	V-308.753030	公差
工作温度范围	10至50 °C
连接器	HD D-sub 26针（公头）
电缆长度	1.5 m
推荐控制器/驱动器	C-414、G-910、ACS SPiiPlus + NPMpm（含NanoPWM）

使用PIFOC的Z向物镜定位

在许多检查或显微镜技术中，均需要沿Z向（即沿物镜的光轴）定位样本。或者，也可以沿Z向移动物镜本身。为此，PI提供了名为PIFOC的解决方案。

集成的重力补偿

该产品具有磁性重力补偿功能。即使未通电，也可以保持垂直于运动轴对准的高达1kg负载的位置。重力补偿可由用户调整。

PIMag音圈电机

音圈电机为直接驱动器。在直接驱动器中，驱动器元件的力直接传递至要移动的负载，而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。当电流流过绕组体时，绕组体在永磁体的磁场中移动。音圈驱动器重量轻并且基于无摩擦驱动原理，因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位，因为它们不存在磁滞效应。

交叉滚柱导轨

对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高有效载荷的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。

直接位置测量

以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。

应用领域

显微镜：多光子荧光显微镜、深层组织检查、数字载片扫描显微镜。生物技术：采用Solexa-Illumina方法进行基因组测序、免疫分析荧光。医疗设备：扫描激光眼科、自动细胞计数器/流式细胞仪。生物医学研究：光学和磁性镊子。激光材料加工：激光微加工、激光烧蚀。半导体行业：半导体/晶圆检测。

关于传感器分辨率和最小位移的说明：细分为2^{11时，带有C-414运动控制器}

关于稳定时间的说明：有增益调度功能（仅适用于NanoPWM）

关于定位精度和重复精度的说明：符合ISO 230-2标准

关于额定电流和峰值电流的说明： 70°C线圈温度下最大值为10s

关于额定电流（均方根）的说明：无冷却时的值；有冷却时：1.55A；带水平对齐的定位器，带有钢制穿孔板，200mm×250mm×12mm

关于电感的说明：在100mHz频率下的值

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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