高动态高稳定性压电陶瓷纳米台P-753
同时为平台和促动器提供导向
行程达38 微米
分辨率 0.1 nm
可提供非磁性版本
直接驱动可实现极其快速的响应行为
电容式传感器带来最高线性度
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- 商品名称: 高动态高稳定性压电陶瓷纳米台P-753
- 商品编号: NX-05-1 P-753
- 概要介绍: P-753 LISA线性促动器和平台<br> 同时为平台和促动器提供导向<br> 行程达38 微米<br> 分辨率 0.1 nm<br> 可提供非磁性版本<br> 直接驱动可实现极其快速的响应行为<br> 电容式传感器带来最高线性度<br>
应用领域
扫描显微镜
测量技术
测试程序和质量保证
光子
光纤定位
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态
带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-753.1CD
P-753.2CD
P-753.3CD
单位
公差
主动轴
X
X
X
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
行程，闭环
15
30
38
微米
分辨率，闭环
0.1
0.2
0.25
纳米
典型值
线性误差，闭环
0.03
0.03
0.03
%
典型值
重复精度
±1
±2
±3
纳米
典型值
螺距/偏转角
±5
±7
±10
微弧度
典型值
机械特性
运动方向上的刚性
45
24
16
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
5.6
3.7
2.9
千赫兹
±20 %
带200 克负载时的谐振频率
2.5
1.7
1.4
千赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
100 / 20
100 / 20
100 / 20
牛
最大
负载能力（垂直/水平操作）
10 / 2
10 / 2
10 / 2
千克
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
1.5
3.1
4.6
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
钢
钢
钢
尺寸
44 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
62 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
80 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
质量
0.16
0.215
0.26
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
D-sub 7W2（公头）
D-sub 7W2（公头）
D-sub 7W2（公头）
推荐电控
E-625，E-754
E-625，E-754
E-625，E-754
说明：
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
可提供带LEMO连接器的版本，如 P-753.x1C。
可提供真空达10-9百帕的版本，如P-753.xUD。
可提供非磁性版本，如P-753.xND。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 询问定制版本。
关键词:- 平台
- 实现
- 压电
- 陶瓷
- 直接
- 驱动
- 它们
- picma
- 纳米
- 刚性
-
图纸/图片
P-753.1，尺寸单位为毫米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。
P-753.2，尺寸单位为毫米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。
P-753.3，尺寸单位为毫米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。
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