H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台
行程达±17 毫米 / ±21度
负载容量达5 公斤
重复精度达±0.06 微米
速度达20 毫米/秒
超长使用寿命
可提供真空兼容版本
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- 商品名称: H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台
- 商品编号: H-811.I2/I2V
- 概要介绍: 快速、紧凑、高精度<br> 行程达±17 毫米 / ±21度<br> 负载容量达5 公斤<br> 重复精度达±0.06 微米<br> 速度达20 毫米/秒<br> 超长使用寿命<br> 可提供真空兼容版本<br>
参考级六轴定位系统
六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10-6百帕
应用领域
科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。
无刷直流电机(BLDC)
无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。
运动和定位
H-811.I2 / .I2V**
单位
公差
主动轴
X，Y，Z，θX，θY，θZ
X、Y向上的行程*
±17, ±16
毫米
Z向上的行程*
±6.5
毫米
θX、θY向上的行程*
±10, ±10
°
θZ向上的行程*
±21
°
促动器设计分辨率
5
纳米
X、Y向上的最小位移
0.2
微米
典型值
Z向上的最小位移
0.08
微米
典型值
θX、θY向上的最小位移
2.5
微弧度
典型值
θZ向上的最小位移
5
微弧度
典型值
X、Y向上的空回
0.2
微米
典型值
Z向上的空回
0.06
微米
典型值
θX、θY向上的空回
2
微弧度
典型值
θZ向上的空回
4
微弧度
典型值
X、Y向上的重复精度
±0.15
微米
典型值
Z向上的重复精度
±0.06
微米
典型值
θX、θY向上的重复精度
±2
微弧度
典型值
θZ向上的重复精度
±3
微弧度
典型值
X、Y和Z向上的最大速度
20 / 10
毫米/秒
θX、θY、θZ向上的最大速度
500 / 250
毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度
10 / 5
毫米/秒
Typ. θX、θY、θZ向上的速度
240 / 120
毫弧度/秒
机械特性
H-811.I2 / .I2V**
单位
公差
X、Y向上的刚性
0.7
牛/微米
Z向上的刚性
8
牛/微米
负载能力（底板为水平方向）
5
千克
最大
负载能力（底板为任意方向）
2.5
千克
最大
保持力（断电、底板为水平方向）
15
牛
最大
保持力（断电、底板为任意方向）
2.5
牛
最大
电机类型
BLDC电机
其他
H-811.I2 / .I2V**
单位
公差
工作温度范围
0 到 50
°C
材料
不锈钢，铝
质量
2.2
千克
±5 %
电缆长度
0.5+3/3（空气）+2（真空）
米
±10 毫米
推荐控制器
C-887.5x
技术参数为 20±3 °C下的数值。
* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。
**对于真空连续操作，由于发热，可能需要对运行参数进行限制。
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