用于物镜的音圈PIFOC聚焦驱动器
可调行程范围限制,行程总范围为1至7mm
高动态直接驱动器
集成的重力补偿达1kg,可由用户调整
最小位移为10nm
重载交叉滚柱导轨
适合的可选配件,例如:物镜支架
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- 商品名称: 用于物镜的音圈PIFOC聚焦驱动器
- 商品编号: V-308
- 概要介绍: 用于显微镜物镜的高动态定位器<br> 可调行程范围限制,行程总范围为1至7mm<br> 高动态直接驱动器<br> 集成的重力补偿达1kg,可由用户调整<br> 最小位移为10nm<br> 重载交叉滚柱导轨<br> 适合的可选配件,例如:物镜支架<br>
使用PIFOC的Z向物镜定位
在许多检查或显微镜技术中,均需要沿Z向(即沿物镜的光轴)定位样本。 或者,也可以沿Z向移动物镜本身。 为此,PI提供了名为PIFOC的解决方案。
集成的重力补偿
该产品具有磁性重力补偿功能。 即使未通电,也可以保持垂直于运动轴对准的高达1kg负载的位置。 重力补偿可由用户调整。
PIMag音圈电机
音圈电机为直接驱动器。 在直接驱动器中,驱动器元件的力直接传递至要移动的负载,而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。 音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。 当电流流过绕组体时,绕组体在永磁体的磁场中移动。 音圈驱动器重量轻并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。 这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。 因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。 交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高有效载荷的特征。 力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
直接位置测量
以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。
应用领域
显微镜:多光子荧光显微镜、深层组织检查、数字载片扫描显微镜。 生物技术:采用Solexa-Illumina方法进行基因组测序、免疫分析荧光。 医疗设备:扫描激光眼科、自动细胞计数器/流式细胞仪。 生物医学研究:光学和磁性镊子。 激光材料加工:激光微加工、激光烧蚀。 半导体行业:半导体/晶圆检测。
规格
运动
V-308.753030
公差
主动轴
Z
Z向上的行程
7 mm
Z向上的加速度,空载
8 m/s²
max.
Z向上的最大速度,空载
200 mm/s
X向上的直线度误差
± 0.75 µm
max.
Y向上的直线度误差
± 0.75 µm
max.
绕X的角度误差
± 50 µrad
max.
绕Y的角度误差
± 50 µrad
max.
绕Z的角度误差
± 50 µrad
max.
定位
V-308.753030
公差
Z向上的最小位移
0.01 µm
typ.
Z向上的已校准定位精度
± 0.6 µm
typ.
Z向上的未校准定位精度
± 4 µm
typ.
Z向上的双向重复精度
1 µm
typ.
Z向上的双向重复精度,步长为100nm
50 nm
参考点开关
光学、方向感应(参考边缘跟踪),5V,TTL
参考点开关重复精度
0.5 µm
集成传感器
PIOne:增量直线光栅尺
传感器信号
正弦/余弦,1Vpp
传感器信号周期
2 µm
Z向上的系统分辨率
1 nm
传感器分辨率
1 nm
Z向上的位置噪声
3 nm
max.
Z向上的稳定时间(100nm步长,±15nm误差带)
15 ms
Z向上的稳定时间(250nm步长,±15nm误差带)
15 ms
驱动性能
V-308.753030
公差
驱动类型
音圈
标称电压
48 V
标称电流,均方根
1.15 A
typ.
峰值电流,均方根
3.5 A
typ.
Z向上的正向运动的驱动力
4.2 N
typ.
Z向上的负向运动的驱动力
4.2 N
typ.
Z向上的正向运动的峰值力
9.45 N
Z向上的负向运动的峰值力
9.45 N
力常数
2.7 N/A
电机常数
1.37 N/√W
typ.
相间电阻
3.9 Ω
typ.
相间电感
0.85 mH
反电动势
2.7 V·s/m
max.
驱动元件的允许最高温度
50 °C
机械性能
V-308.753030
公差
X向上的允许推力
10 N
max.
Y向上的允许推力
10 N
max.
Z向上的允许推力
10 N
max.
Z向上的移动质量,空载
200 g
导轨
交叉滚柱导轨
总质量
600 g
不含电缆的质量
450 g
材料
铝,阳极氧化
其他
V-308.753030
公差
工作温度范围
10至50 °C
连接器
HD D-sub 26针(公头)
电缆长度
1.5 m
推荐控制器/驱动器
C-414、G-910、ACS SPiiPlus + NPMpm(含NanoPWM)
关于传感器分辨率和最小位移的说明:细分为211时,带有C-414运动控制器
关于稳定时间的说明:有增益调度功能(仅适用于NanoPWM)
关于定位精度和重复精度的说明:符合ISO 230-2标准
关于额定电流和峰值电流的说明: 70°C线圈温度下最大值为10s
关于额定电流(均方根)的说明:无冷却时的值;有冷却时:1.55A;带水平对齐的定位器,带有钢制穿孔板,200mm×250mm×12mm
关于电感的说明:在100mHz频率下的值
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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