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中型步进电机小角度旋转台HDS-YAW
高耐久型自动转动平台 HDS-YAW
适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台。
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- 品牌内容
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- 品牌: 西格玛光机
- 商品名称: 中型步进电机小角度旋转台HDS-YAW
- 商品编号: XZ-16 HDS-YAW
- 概要介绍: 中型步进电机小角度旋转台HDS-YAW<br> 高耐久型自动转动平台 HDS-YAW<br> 适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台。<br>
◦特别适用于微小角度的自动调整。
◦驱动机构为丝杠，磨损和间隙小，耐久性好。
◦丝杠带动钢带，将直线运动转换为转动，即使位置不同，其传动比也不变。
n 信息
▶转动范围
n 注意
▶请水平设置使用HDS系列。上下倒置或侧面安装时，难以保证样本上所示技术指标。如希望非常规使用的话，欢迎来信咨询。
技术指标
型号
HDS-60YAW
HDS-80YAW
HDS-120YAW
机械 技术指标
转动范围
±5°
±5°
±6°
台面尺寸〔mm〕
φ60
φ80
φ120
驱动机构
滚珠丝杠＋钢带
滚珠丝杠＋钢带
滚珠丝杠＋钢带
导轨形式
滚动轴承
滚动轴承
十字交叉滚柱
主要材料
铝合金
铝合金
铝合金
表面处理
黑色氧化
黑色氧化
黑色氧化
自重〔kg〕
0.5
0.9
1.4
精度 技术指标
分辨率
（整步）〔°/脉冲〕
≒0.0053
≒0.0038
≒0.0022
（半步）〔°/脉冲〕
≒0.0027
≒0.0019
≒0.0011
最大速度〔°/sec〕
60
60
60
定位精度〔°〕
0.05
0.05
0.05
重复定位精度〔°〕
0.003
0.003
0.003
承载能力〔N〕
29.4（3.0kgf）
58.8（3.0kgf）
98（10kgf）
扭矩刚度〔″/N·cm〕
1
0.2
0.1
空行程〔°〕
0.003
0.003
0.003
传动副间隙〔°〕
0.05
0.05
0.05
平行度〔μm〕
50
50
50
同心度〔μm〕
10
10
10
台面跳动量〔mm〕
0.01
0.01
0.01
传感器
传感器型号
微型光电传感器：GP1S097HCZ（夏普（株））
极限位置传感器
有（常闭）
有（常闭）
有（常闭）
原点传感器
有（常开）
有（常开）
有（常开）
近接原点传感器
无
无
无
电机／传感器技术指标
电机
类型
5相步进电机 0.75A/相
（多摩川精机（株））
5相步进电机 0.75A/相（ORIENTAL MOTOR（株））
型号
TS3664N4E10（□24mm）
PK523HPB-C12（□28mm）
步距角
0.72°
传感器
电源电压
DC5〜24V±10%
消耗电流
60mA以下（单个传感器20mA以下）
输出端电气特性
NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下
信号的含义
遮光时：输出晶体管OFF（截止）：极限位置传感器 遮光时：输出晶体管ON（导通）：原点传感器
推荐选用的驱动器／控制器型号
电器系统
驱动器
SG-5M，SG-5MA，MC-S0514ZU，SG-514MSC，MC-7514PCL
控制器
GSC-01，GIP-101，GSC-02，SHOT-702，HSC-103，SHOT-302GS，SHOT-304GS，HIT-M·HIT-S，PGC-04-U
关键词:- 旋转电动台
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