
D-015 • D-050 • D-100 电容传感器
亚纳米分辨率位置传感器
用于要求最高精度的应用
量程达1000微米
分辨率达0.01纳米
带数字式控制器,线性误差达0.01%
带宽达10千赫兹
伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容
定制设计
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- 商品名称: D-015 • D-050 • D-100 电容传感器
- 商品编号: D-015 • D-050 • D-100
- 概要介绍: 亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计
分辨率
电容式传感器可在较短的距离内实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中,散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与 E-509 结合使用。C1A 电子设备,D-100.00 传感器 (100 μm) 的有效噪声因数为 0.02 nm/√Hz。例如,对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 的带宽。电子器件的跳线可调带宽高达3 kHz。
除了这里列出的标准传感器外,PI还提供定制版本,例如测量、几何形状、材料、电子元件等。
应用领域
高精度定位。
传感器
D-050.00
D-100.00
公差
热漂移
50 ppm/K
50 ppm/K
传感器类型
电容式
电容式
标称量程
50 µm
100 µm
传感器有效面积
56.5 mm²
113.1 mm²
其他
D-050.00
D-100.00
公差
工作温度范围
-20至80 °C
-20至80 °C
材料
铝
铝
推荐评估电子设备
E-509.CxA
E-509.CxA
分辨率:在3kHz频率下,搭配E-509.C3A使用。
线性误差:带数字式控制器;搭配E-509模拟控制器使用时达0.05%。
热漂移:有效表面尺寸变化,单位为ppm(百万分之一),针对量程。
询问客制化材料。
关键词:- d-050
- 分辨率
- 测量
- 传感器
- hz
- nm
- 噪声
- 实现
- 带宽
- 例如
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