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D-015 • D-050 • D-100 电容传感器


亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计

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    • 商品名称: D-015 • D-050 • D-100 电容传感器
    • 商品编号: D-015 • D-050 • D-100
    • 概要介绍: 亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计

    分辨率

    电容式传感器可在较短的距离内实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中,散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与 E-509 结合使用。C1A 电子设备,D-100.00 传感器 (100 μm) 的有效噪声因数为 0.02 nm/√Hz。例如,对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 的带宽。电子器件的跳线可调带宽高达3 kHz。

    除了这里列出的标准传感器外,PI还提供定制版本,例如测量、几何形状、材料、电子元件等。

    应用领域

    高精度定位。

    传感器

    D-050.00

    D-100.00

    公差

    热漂移

    50 ppm/K

    50 ppm/K

     

    传感器类型

    电容式

    电容式

     

    标称量程

    50 µm

    100 µm

     

    传感器有效面积

    56.5 mm²

    113.1 mm²

     

    其他

    D-050.00

    D-100.00

    公差

    工作温度范围

    -20至80 °C

    -20至80 °C

     

    材料

    铝

    铝

     

    推荐评估电子设备

    E-509.CxA

    E-509.CxA

     

    分辨率:在3kHz频率下,搭配E-509.C3A使用。

    线性误差:带数字式控制器;搭配E-509模拟控制器使用时达0.05%。

    热漂移:有效表面尺寸变化,单位为ppm(百万分之一),针对量程。

    询问客制化材料。

     

    关键词:
    • d-050
    • 分辨率
    • 测量
    • 传感器
    • hz
    • nm
    • 噪声
    • 实现
    • 带宽
    • 例如

单极电容传感器D-510

描述:

PIRest驱动器电控

描述:

E-852 PISeca信号调节器

描述:

P-616.65S NanoCube六轴压电陶瓷系统

描述: