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D-015 • D-050 • D-100 电容传感器


亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计

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    • 商品名称: D-015 • D-050 • D-100 电容传感器
    • 商品编号: D-015 • D-050 • D-100
    • 概要介绍: 亚纳米分辨率位置传感器 用于要求最高精度的应用 量程达1000微米 分辨率达0.01纳米 带数字式控制器,线性误差达0.01% 带宽达10千赫兹 伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容 定制设计

    分辨率

    电容式传感器可在较短的距离内实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中,散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与 E-509 结合使用。C1A 电子设备,D-100.00 传感器 (100 μm) 的有效噪声因数为 0.02 nm/√Hz。例如,对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 的带宽。电子器件的跳线可调带宽高达3 kHz。

    除了这里列出的标准传感器外,PI还提供定制版本,例如测量、几何形状、材料、电子元件等。

    应用领域

    高精度定位。

    关键词:
    • d-050
    • 分辨率
    • 测量
    • 传感器
    • hz
    • nm
    • 噪声
    • 实现
    • 带宽
    • 例如
  • 规格

     


    D-015.00


    D-050.00


    D-100.00


    单位


    传感器

     

     

     

     

    传感器类型

    电容式

    电容式

    电容式

     

    标称量程

    15

    50

    100

    微米

    扩展量程

    45

    150

    300

    微米

    分辨率*

    0.0005

    0.0005

    0.0005

    量程的 %

    线性误差**

    0.01

    0.01

    0.01

    %

    传感器有效面积

    16.6

    56.5

    113.1

    平方毫米

    热漂移***

    50

    50

    50

    百万分之一/开氏度


    其他

     

     

     

     

    工作温度范围

    -20 到 80

    -20 到 80

    -20 到 80

    °C

    材料

     

    推荐传感器电控

    E-509.CxA

    E-509.CxA

    E-509.CxA

     

    *3千赫兹,采用E-509.C3A伺服控制器。

    **带数字式控制器。采用E-509模拟控制器,高达0.05 %。

    ***有效表面尺寸的变化,单位为百万分之一,参见量程。

     

    询问客制化材料。

超级反射镜

描述:用(光)高精度检测距离或时间等时,常用法布里-珀罗干涉仪(Fabry-Perot interferometer)。这个系列的超级反射镜为提高法布里-珀罗干涉仪的性能而开发,超级反射镜的反射率非常接近100%了。

单极电容传感器D-510

描述: