产品管理
  • 全部
  • 产品管理

单极电容传感器D-510


具有优异的位置分辨率的单电极传感器 非接触式距离测量 绝对位置检测 振动测量 亚纳米级分辨率 灵活的量程 简易集成

产品数据表下载:

undefined
undefined
+
  • undefined
  • undefined
  • 产品描述
  • 数据图表
  • 订购询价
    • 商品名称: 单极电容传感器D-510
    • 商品编号: D-510
    • 概要介绍: 具有优异的位置分辨率的单电极传感器 非接触式距离测量 绝对位置检测 振动测量 亚纳米级分辨率 灵活的量程 简易集成

    电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命

    结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。

    定制版本/双电极传感器

    除了此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

    D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。

    易于操作和集成

    所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。

    应用领域

    工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。

    关键词:
    • 单极
    • 传感器
    • 电控
    • 应用
    • 分辨率
    • 定制
    • 实现
    • 线性
    • 提供
    • 最高
  • 规格

     

    D-510.021

    D-510.051

    D-510.101

    传感器类型

    单电极,电容式

    单电极,电容式

    单电极,电容式

    测量精度

    D-510.021

    D-510.051

    D-510.101

    标称量程*

    20微米

    50微米

    100微米

    标称量程内具有最小测量间隙*

    10微米

    25微米

    50微米

    量程扩展5倍后具有最大测量间隙*

    150微米

    375微米

    750微米

    静态分辨率**

    <量程的0.001%(均方根)

    <量程的0.001%(均方根)

    <量程的0.001%(均方根)

    动态分辨率**

    <量程的0.002%(均方根)

    <量程的0.002%(均方根)

    <量程的0.002%(均方根)

    线性误差***

    <0.2%

    <0.1%

    <0.1%

    机械特性

    D-510.021

    D-510.051

    D-510.101

    传感器有效直径

    3.8毫米

    6毫米

    8.4毫米

    传感器有效面积

    11.2平方毫米

    27.9平方毫米

    56.1平方毫米

    传感器直径

    8毫米

    12毫米

    20毫米

    传感器面积

    50.3平方毫米

    113.1平方毫米

    314.0平方毫米

    安装轴直径

    8毫米

    8毫米

    8毫米

    其他

    D-510.021

    D-510.051

    D-510.101

    工作温度范围

    -20至100摄氏度

    -20至100摄氏度

    -20至100摄氏度

    材料

    不锈钢

    不锈钢

    不锈钢

    质量

    8克 (±5%)

    10克 (±5%)

    16克 (±5%)

    合适的连接电缆

    D-891.01x、D-891.02x

    D-891.01x、D-891.02x

    D-891.01x、D-891.02x

    推荐电控

    E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

    E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

    E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3

    *E-852.10提供扩展量程,两种量程分别经过校准。扩展因子:1、2、2.5、5。

    **静态:带宽为10赫兹,动态:带宽为10千赫兹,带E-852评估电控

    ***标称量程内的线性误差