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大型通孔式空气轴承磁性电机转台A-68x


无摩擦,电动 运动平台直径为365毫米,开孔直径为260毫米 低外形 偏心度和平面度< 300纳米

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 大型通孔式空气轴承磁性电机转台A-68x
    • 商品编号: A-68x
    • 概要介绍: 无摩擦,电动 运动平台直径为365毫米,开孔直径为260毫米 低外形 偏心度和平面度< 300纳米

    产品概述

    PIglide RLA系列直接驱动式平面转台旨在实现较高的精度。这些转台低外形、大孔径。RLA平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。

    绝对编码器(可选配)

    绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

    应用领域

    断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。

    由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使PIglide平台成为无尘室应用的首选。

    三相力矩电机

    • 无刷
    • 低齿槽转矩

    附件和可选配件

    • 增量或绝对编码器
    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
    • 多轴/定制化搭建
    • 花岗岩底座板和隔振系统
    关键词:
    • 空气轴承
    • piglide
    • 绝对
    • 运动
    • 系统
    • 编码器
    • 转台
    • 精度
    • 检验
    • 平面
  • 规格

    运动

    A-688

    单位

    公差

    行程

    无限,> 360度

     

     

    运动平台直径

    365

    毫米

     

    偏心度(1)

    300

    纳米

    最大

    平面度(1)

    175

    纳米

    最大

    摆动(1)

    1

    微弧度

    最大

    机械特性

    A-688

    单位

    公差

    负载能力,轴向(2)

    770

    最大

    负载能力,径向(2)

    190

    最大

    负载力矩,MX、Y(2)

    36

    牛米

    最大

    惯性力矩

    284710

    千克平方毫米

    典型值

    运动质量

    12

    千克

    典型值

    总质量

    24

    千克

    典型值

    导轨类型

    空气轴承

     

     

    驱动器特性

    A-688

    单位

    公差

    驱动器类型

    三相无刷力矩电机

     

     

    中间电路电压

    48,标称值

    80,最大值

    伏直流

     

    峰值电流

    6.9

    最大

    标称电流

    3.2

    最大

    峰值力矩

    85

    牛米

    最大

    标称力矩

    39

    牛米

    最大

    力矩常数

    12.3

    牛米/安

    典型值

    相间电阻

    3.6

    欧姆

    典型值

    相间电感

    1.24

    毫亨

    典型值

    相间反电动势

    10.1

    伏/千转每分钟

    典型值

    定位

    A-688.A100

    A-688.B100

    集成传感器

    增量角度测量系统

    绝对角度测量系统

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值

    BiSS-C

    线/转

    55040

    速度(3)

    最大值为500转/分钟

    最大值为500转/分钟

    传感器分辨率

    0.03微弧度(4)

    0.0015微弧度

    双向重复精度

    ±4微弧度

    ±4微弧度

    精度,带误差补偿(5)

    ±8微弧度

    ±8微弧度

    参考点开关

    1 / 转,一个传感器信号周期内差示脉冲,1伏峰峰值

    其他

    A-688

    工作压力(6)

    75至85磅 /平方英寸(515至585千帕)

    耗气量

    < 2 SCFM (56 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

    无油 - ISO 8573‑1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573-1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于底面质量、有效载荷、方向和从外部作用于平台的力。请联系PI获取针对特定应用的参数。规定的数值为静态(测量时无旋转运动)、不带负载的值。

    (2)所列负载为假定供气压力为550千帕(80磅/平方英寸)。若需其他压力,请联系PI。

    (3)可能受有效载荷、有效载荷的不平衡性、控制器或驱动器的限制。

    (4)假定4096x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (5)规定的数值基于控制器控制的误差补偿。为实现这些数值,平台须与PI A-8xx系列控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。