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中型XY一体式空气轴承磁性电机平台A-311


高性能,紧凑型XY纳米定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达200 毫米 × 200 毫米 负载容量达147 牛 低外形 分辨率达1纳米

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 中型XY一体式空气轴承磁性电机平台A-311
    • 商品编号: A-311
    • 概要介绍: 高性能,紧凑型XY纳米定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达200 毫米 × 200 毫米 负载容量达147 牛 低外形 分辨率达1纳米

    产品概述

    带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计,可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限,能够节省机械空间。

    附件和可选配件

    • 编码器
    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 多轴运动控制器和直接驱动器
    • 机器底座
    • 花岗岩底座板和隔振系统

    PIMag磁力直接驱动

    三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

    利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。

    应用领域

    PIglide 定位系统特别适合高精度应用,例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。

    关键词:
    • xy
    • 直接
    • 系统
    • 控制
    • piglide
    • 驱动器
    • 适合
    • 控制器
    • 驱动力
  • 规格

    运动

    A‑123.050

    A‑123.100

    A‑123.150

    A‑123.200

    A‑123.350

    A‑123.500

    A‑123.750

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

    X

    X

    X

    X

     

     

    行程

    50

    100

    150

    200

    350

    500

    750

    毫米

     

    俯仰角/偏转角(1)

    10

    10

    15

    15

    15

    20

    35

    微弧度

    最大

    直线度/平面度(1)

    0.5

    0.5

    0.5

    0.5

    1

    1.5

    3

    微米

    最大

    每25毫米行程的直线度/平面度(1)

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    微米

    最大

    速度,空载(2)

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    米/秒

    最大

    加速度,空载(2)

    30

    30

    30

    30

    30

    30

    30

    米/平方秒

    最大

    机械特性

    A‑123.050

    A‑123.100

    A‑123.150

    A‑123.200

    A‑123.350

    A‑123.500

    A‑123.750

    单位

    公差

    Z向负载能力(6)

    410

    410

    410

    410

    410

    410

    410

    最大

    Y向负载能力(6)

    205

    205

    205

    205

    205

    205

    205

    最大

    θx向上的允许力矩(6)

    25

    25

    25

    25

    25

    25

    25

    牛米

    最大

    θy向上的允许力矩(6)

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    牛米

    最大

    移动质量

    5

    5

    5

    5

    5

    5

    5

    千克

     

    总质量

    14

    15.5

    16.5

    18

    21.5

    25

    32

    千克

     

    导向类型

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

     

     

    驱动特性

    A‑123

    单位

    公差

    驱动类型

    无铁芯三相线性电机

     

     

    中间电路电压,均方根

    48,标称值

    80,最大值

    伏直流

     

    峰值电流,均方根

    15

    最大

    标称电流,均方根

    4.4

    最大

    峰值力

    298

    最大

    标称力

    87.5

    最大

    力常数,均方根

    19.9

    牛/安

    典型值

    相间电阻

    3.6

    欧姆

    典型值

    相间电感

    1.2

    毫亨

    典型值

    相间反电动势

    16

    伏·秒/米

    典型值

    布线

    外部,移动电缆

     

     

    定位

    A‑123.xxxA

    A‑123.xxxB

    集成传感器

    增量线性编码器

    绝对编码器

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值,

    20微米信号周期

    BiSS-C

    传感器分辨率

    4.88纳米(3)

    1纳米

    双向重复性

    ±0.1微米

    ±0.1微米

    定位精度,未校准(4)

    A-123.050:± 1.5微米

    A-123.100:± 1.5微米

    A-123.150:± 1.5微米

    A-123.200:± 2微米

    A-123.350:± 3微米

    A-123.500:± 3.5微米

    A-123.750:± 5微米

    A-123.050:± 1.5微米

    A-123.100:± 1.5微米

    A-123.150:± 1.5微米

    A-123.200:± 1.5微米

    A-123.350:± 1.5微米

    A-123.500:± 1.5微米

    A-123.750:± 1.5微米

    定位精度,已校准(4)

    A-123.050:± 0.3微米

    A-123.100:± 0.3微米

    A-123.150:± 0.3微米

    A-123.200:± 0.3微米

    A-123.350:± 0.3微米

    A-123.500:± 0.5微米

    A-123.750:± 0.5微米

    A-123.050:± 0.3微米

    A-123.100:± 0.3微米

    A-123.150:± 0.3微米

    A-123.200:± 0.3微米

    A-123.350:± 0.3微米

    A-123.500:± 0.5微米

    A-123.750:± 0.5微米

    其他

    A‑123

    工作压力(5)

    75至85磅 /平方英寸(515至585千帕)

    耗气量

    < 1.0 SCFM (28 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

    无油 - ISO 8573‑1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573-1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于平台安装表面的平面度。

    (2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

    (3)假定4096x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (4)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (5)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

    6)假定空气轴承工作压力为80磅/平方英寸(550千帕)。