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大型高性能空气轴承磁性电机线性平台A-123


高性能纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米 行程50 毫米至750 毫米 分辨率达1纳米

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 大型高性能空气轴承磁性电机线性平台A-123
    • 商品编号: A-123
    • 概要介绍: 高性能纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米 行程50 毫米至750 毫米 分辨率达1纳米

    产品概述

    PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

    高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

    应用领域

    PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

    由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

    附件和可选配件

    • 编码器
    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 单轴和多轴运动控制器
    • 气动夹紧/解锁选项
    • XY装置和个性化配置
    • 电缆轨道变型
    • 用于垂直(Z)方向的配重选项
    • 可提供定制版
    • 花岗岩底座板和隔振系统
    关键词:
    • 空气轴承
    • piglide
    • 平台
    • 电机
    • 线性
    • 运动
    • 选项
    • 非常
    • 摩擦
    • 应用
  • 规格

    运动

    A‑123.050

    A‑123.100

    A‑123.150

    A‑123.200

    A‑123.350

    A‑123.500

    A‑123.750

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

    X

    X

    X

    X

     

     

    行程

    50

    100

    150

    200

    350

    500

    750

    毫米

     

    俯仰角/偏转角(1)

    10

    10

    15

    15

    15

    20

    35

    微弧度

    最大

    直线度/平面度(1)

    0.5

    0.5

    0.5

    0.5

    1

    1.5

    3

    微米

    最大

    每25毫米行程的直线度/平面度(1)

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    微米

    最大

    速度,空载(2)

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    米/秒

    最大

    加速度,空载(2)

    30

    30

    30

    30

    30

    30

    30

    米/平方秒

    最大

    机械特性

    A‑123.050

    A‑123.100

    A‑123.150

    A‑123.200

    A‑123.350

    A‑123.500

    A‑123.750

    单位

    公差

    Z向负载能力(6)

    410

    410

    410

    410

    410

    410

    410

    最大

    Y向负载能力(6)

    205

    205

    205

    205

    205

    205

    205

    最大

    θx向上的允许力矩(6)

    25

    25

    25

    25

    25

    25

    25

    牛米

    最大

    θy向上的允许力矩(6)

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    牛米

    最大

    移动质量

    5

    5

    5

    5

    5

    5

    5

    千克

     

    总质量

    14

    15.5

    16.5

    18

    21.5

    25

    32

    千克

     

    导向类型

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

     

     

    驱动特性

    A‑123

    单位

    公差

    驱动类型

    无铁芯三相线性电机

     

     

    中间电路电压,均方根

    48,标称值

    80,最大值

    伏直流

     

    峰值电流,均方根

    15

    最大

    标称电流,均方根

    4.4

    最大

    峰值力

    298

    最大

    标称力

    87.5

    最大

    力常数,均方根

    19.9

    牛/安

    典型值

    相间电阻

    3.6

    欧姆

    典型值

    相间电感

    1.2

    毫亨

    典型值

    相间反电动势

    16

    伏·秒/米

    典型值

    布线

    外部,移动电缆

     

     

    定位

    A‑123.xxxA

    A‑123.xxxB

    集成传感器

    增量线性编码器

    绝对编码器

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值,

    20微米信号周期

    BiSS-C

    传感器分辨率

    4.88纳米(3)

    1纳米

    双向重复性

    ±0.1微米

    ±0.1微米

    定位精度,未校准(4)

    A-123.050:± 1.5微米

    A-123.100:± 1.5微米

    A-123.150:± 1.5微米

    A-123.200:± 2微米

    A-123.350:± 3微米

    A-123.500:± 3.5微米

    A-123.750:± 5微米

    A-123.050:± 1.5微米

    A-123.100:± 1.5微米

    A-123.150:± 1.5微米

    A-123.200:± 1.5微米

    A-123.350:± 1.5微米

    A-123.500:± 1.5微米

    A-123.750:± 1.5微米

    定位精度,已校准(4)

    A-123.050:± 0.3微米

    A-123.100:± 0.3微米

    A-123.150:± 0.3微米

    A-123.200:± 0.3微米

    A-123.350:± 0.3微米

    A-123.500:± 0.5微米

    A-123.750:± 0.5微米

    A-123.050:± 0.3微米

    A-123.100:± 0.3微米

    A-123.150:± 0.3微米

    A-123.200:± 0.3微米

    A-123.350:± 0.3微米

    A-123.500:± 0.5微米

    A-123.750:± 0.5微米

    其他

    A‑123

    工作压力(5)

    75至85磅 /平方英寸(515至585千帕)

    耗气量

    < 1.0 SCFM (28 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

    无油 - ISO 8573‑1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573-1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于平台安装表面的平面度。

    (2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

    (3)假定4096x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (4)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (5)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

    6)假定空气轴承工作压力为80磅/平方英寸(550千帕)。