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大型空气轴承磁性电机线性平台A-110


价格便宜的高性能纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸160毫米×200 毫米 行程达400 毫米 负载容量达100 牛

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 大型空气轴承磁性电机线性平台A-110
    • 商品编号: A-110
    • 概要介绍: 价格便宜的高性能纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸160毫米×200 毫米 行程达400 毫米 负载容量达100 牛

    产品概述

    PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器:非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性

    附件和可选配件

    • 编码器
    • PIglide Filter und Druckregler
    • 单轴和多轴运动控制器
    • XY装置和个性化配置
    • 花岗岩底座板和隔振系统

    应用领域

    PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

    由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

  • 运动

    A-110.050xx

    A-110.100xx

    A-110.200xx

    A-110.300xx

    A-110.400xx

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

    X

    X

     

     

    行程

    50

    100

    200

    300

    400

    毫米

     

    螺距/偏转角(1)

    15

    15

    20

    30

    40

    微弧度

    最大

    直线度/
    平面度(1)

    0.5

    0.5

    1

    1

    1.5

    微米

    最大


    每10毫米
    行程的直线度/平面度(1)

    ±10

    ±10

    ±10

    ±10

    ±10

    纳米

    最大

    速度,空载(2)

    0.5

    0.5

    1

    1

    1

    米/秒

    最大

    加速度,空载(2)

    10

    10

    30

    30

    30

    米/平方秒

    最大

    机械特性

    A-110.050xx

    A-110.100xx

    A-110.200xx

    A-110.300xx

    A-110.400xx

    单位

    公差

    Z向负载能力(3)

    100

    100

    100

    100

    100

    最大

    移动质量

    2.5

    2.5

    2.6

    2.6

    2.6

    千克

     

    总质量

    6.3

    7.5

    11

    12

    14

    千克

     

    导向类型

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

     

     

    驱动特性

    A-110.050xx

    A-110.100xx

    A-110.200xx

    A-110.300xx

    A-110.400xx

    单位

    公差

    驱动类型

    无铁芯三相线性电机

    无铁芯三相线性电机

     

     

    中间电路电压,均方根

    48,标称值

    60,最大值

    48,标称值

    60,最大值

    伏直流

     

    峰值力

    25

    85

    典型值

    标称力

    9.2

    39

    典型值

    力常数,均方根

    4.2

    12.3

    牛/安

    典型值

    相间电阻

    8.2

    3.6

    欧姆

    典型值

    相间电感

    2.7

    1.24

    毫亨

    典型值

    相间反电动势

    4.2

    10.1

    伏·秒/米

    最大

    布线

    内部,无移动电缆

    外部,移动电缆

     

     

    定位

    A-110.xxxA

    A-110.xxxB

    集成传感器

    增量线性编码器

    绝对编码器

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期

    BiSS-C

    传感器分辨率

    1.2纳米(4)

    1纳米

    双向重复性

    ±0.1微米(4)

    ±0.1微米

    定位精度,未校准(5)

    A-110.050:± 1.5微米

    A-110.100:± 1.5微米

    A-110.200:± 2微米

    A-110.300:± 3微米

    A-110.400:± 4微米

    A-110.050:± 1.5微米

    A-110.100:± 1.5微米

    A-110.200:± 1.5微米

    A-110.300:± 1.5微米

    A-110.400:± 1.5微米

    定位精度,已校准(5)

    A-110.050:± 0.5微米

    A-110.100:± 0.5微米

    A-110.200:± 0.5微米

    A-110.300:± 0.5微米

    A-110.400:± 0.5微米

    A-110.050:± 0.5微米

    A-110.100:± 0.5微米

    A-110.200:± 0.5微米

    A-110.300:± 0.5微米

    A-110.400:± 0.5微米

    其他

    A-110

    工作压力(6)

    60至70磅 /平方英寸(415至485千帕)

    耗气量

    < 1.0 SCFM (28 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1

    无油 - ISO 8573–1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于平台安装表面的平面度。

    (2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

    (3)假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。

    (4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。