中型精密空气轴承磁性电机线性平台A-121
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- 商品名称: 中型精密空气轴承磁性电机线性平台A-121
- 商品编号: A-121
- 概要介绍: 高性能小落地面积纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米 行程达350毫米 低外形最小为60 毫米 分辨率达1纳米
产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 多轴运动控制器和直接驱动器
- XY装置和个性化配置
- 电缆轨道变型
- 用于垂直组装的平衡配件
- 花岗岩底座板和隔振系统
关键词:- 空气轴承
- piglide
- 平台
- 电机
- 线性
- 运动
- 非常
- 摩擦
- 应用
-
规格
运动
A-121.050
A-121.100
A-121.150
A-121.200
A-121.250
A-121.350
单位
公差
主动轴
X
X
X
X
X
X
行程
50
100
150
200
250
350
毫米
俯仰角/偏转角(1)
20
20
20
20
25
35
微弧度
最大
直线度/平面度(1)
0.5
0.5
1
1.5
2
2.5
微米
最大
每25毫米行程的直线度/平面度(1)
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
微米
最大
速度，空载(2)
0.5
1
1
1
1
1
米/秒
最大
加速度，空载(2)
20
20
20
20
20
20
米/平方秒
最大
机械特性
A-121.050
A-121.100
A-121.150
A-121.200
A-121.250
A-121.350
单位
公差
Z向负载能力(6)
100
100
100
100
100
100
牛
最大
Y向负载能力(6)
40
40
40
40
40
40
牛
最大
θx向上的允许力矩(6)
5
5
5
5
5
5
牛米
最大
θy向上的允许力矩(6)
8.3
8.3
8.3
8.3
8.3
8.3
牛米
最大
移动质量
1.2
1.2
1.2
1.2
1.2
1.2
千克
典型值
总质量
3.5
4.2
4.5
5.2
5.7
6.8
千克
典型值
导向类型
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
驱动特性
A-121
单位
公差
驱动类型
无铁芯三相线性电机
中间电路电压，均方根
48，标称值
80，最大值
伏直流
峰值电流，均方根
3.5
安
最大
标称电流，均方根
1.2
安
最大
峰值力
33.2
牛
最大
标称力
11.1
牛
最大
力常数，均方根
9.4
牛/安
典型值
相间电阻
6.3
欧姆
典型值
相间电感
1.0
毫亨
典型值
相间反电动势
7.7
伏·秒/米
典型值
布线
外部，移动电缆
定位
A-121.xxxA
A-121.xxxB
集成传感器
增量线性编码器
绝对线性编码器
传感器信号
正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期
BiSS-C
传感器分辨率
4.88纳米(3)
1纳米
双向重复性
±0.25微米
±0.25微米
定位精度，未校准(4)
A-121.050：± 1.5微米
A-121.100：± 1.5微米
A-121.150：± 1.5微米
A-121.200：± 2.0微米
A-121.250：± 2.0微米
A-121.350：± 3.0微米
A-121.050：± 1.5微米
A-121.100：± 1.5微米
A-121.150：± 1.5微米
A-121.200：± 1.5微米
A-121.250：± 1.5微米
A-121.350：± 1.5微米
定位精度，已校准(4)
A-121.050：± 0.5微米
A-121.100：± 0.5微米
A-121.150：± 0.5微米
A-121.200：± 0.5微米
A-121.250：± 0.5微米
A-121.350：± 0.5微米
A-121.050：± 0.5微米
A-121.100：± 0.5微米
A-121.150：± 0.5微米
A-121.200：± 0.5微米
A-121.250：± 0.5微米
A-121.350：± 0.5微米
其他
A-121
工作压力(5)
65至75磅 /平方英寸（450至520千帕）
耗气量
< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量
清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573‑1 级别1
无油 - ISO 8573‑1 级别1
干燥（-15°C露点） - ISO 8573-1 级别3
材料
硬膜铝，不锈钢固定硬件
（1）取决于平台安装表面的平面度。
（2）可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
（3）假定4096x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。
（4）通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
(5)为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
（6）假定空气轴承工作压力为70磅/平方英寸（480千帕）。
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