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中型精密空气轴承磁性电机线性平台A-121


高性能小落地面积纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米 行程达350毫米 低外形最小为60 毫米 分辨率达1纳米

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    • 商品名称: 中型精密空气轴承磁性电机线性平台A-121
    • 商品编号: A-121
    • 概要介绍: 高性能小落地面积纳米级定位平台 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米 行程达350毫米 低外形最小为60 毫米 分辨率达1纳米

    产品概述

    PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

    高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。

    应用领域

    PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

    由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

    附件和可选配件

    • 编码器
    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 多轴运动控制器和直接驱动器
    • XY装置和个性化配置
    • 电缆轨道变型
    • 用于垂直组装的平衡配件
    • 花岗岩底座板和隔振系统
    关键词:
    • 空气轴承
    • piglide
    • 平台
    • 电机
    • 线性
    • 运动
    • 非常
    • 摩擦
    • 应用
  • 规格

    运动

    A-121.050

    A-121.100

    A-121.150

    A-121.200

    A-121.250

    A-121.350

    单位

    公差

    主动轴

    X

    X

    X

    X

    X

    X

     

     

    行程

    50

    100

    150

    200

    250

    350

    毫米

     

    俯仰角/偏转角(1)

    20

    20

    20

    20

    25

    35

    微弧度

    最大

    直线度/平面度(1)

    0.5

    0.5

    1

    1.5

    2

    2.5

    微米

    最大

    每25毫米行程的直线度/平面度(1)

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    微米

    最大

    速度,空载(2)

    0.5

    1

    1

    1

    1

    1

    米/秒

    最大

    加速度,空载(2)

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    米/平方秒

    最大

    机械特性

    A-121.050

    A-121.100

    A-121.150

    A-121.200

    A-121.250

    A-121.350

    单位

    公差

    Z向负载能力(6)

    100

    100

    100

    100

    100

    100

    最大

    Y向负载能力(6)

    40

    40

    40

    40

    40

    40

    最大

    θx向上的允许力矩(6)

    5

    5

    5

    5

    5

    5

    牛米

    最大

    θy向上的允许力矩(6)

    8.3

    8.3

    8.3

    8.3

    8.3

    8.3

    牛米

    最大

    移动质量

    1.2

    1.2

    1.2

    1.2

    1.2

    1.2

    千克

    典型值

    总质量

    3.5

    4.2

    4.5

    5.2

    5.7

    6.8

    千克

    典型值

    导向类型

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

    空气轴承

     

     

    驱动特性

    A-121

    单位

    公差

    驱动类型

    无铁芯三相线性电机

     

     

    中间电路电压,均方根

    48,标称值

    80,最大值

    伏直流

     

    峰值电流,均方根

    3.5

    最大

    标称电流,均方根

    1.2

    最大

    峰值力

    33.2

    最大

    标称力

    11.1

    最大

    力常数,均方根

    9.4

    牛/安

    典型值

    相间电阻

    6.3

    欧姆

    典型值

    相间电感

    1.0

    毫亨

    典型值

    相间反电动势

    7.7

    伏·秒/米

    典型值

    布线

    外部,移动电缆

     

     

    定位

    A-121.xxxA

    A-121.xxxB

    集成传感器

    增量线性编码器

    绝对线性编码器

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期

    BiSS-C

    传感器分辨率

    4.88纳米(3)

    1纳米

    双向重复性

    ±0.25微米

    ±0.25微米

    定位精度,未校准(4)

    A-121.050:± 1.5微米

    A-121.100:± 1.5微米

    A-121.150:± 1.5微米

    A-121.200:± 2.0微米

    A-121.250:± 2.0微米

    A-121.350:± 3.0微米

    A-121.050:± 1.5微米

    A-121.100:± 1.5微米

    A-121.150:± 1.5微米

    A-121.200:± 1.5微米

    A-121.250:± 1.5微米

    A-121.350:± 1.5微米

    定位精度,已校准(4)

    A-121.050:± 0.5微米

    A-121.100:± 0.5微米

    A-121.150:± 0.5微米

    A-121.200:± 0.5微米

    A-121.250:± 0.5微米

    A-121.350:± 0.5微米

    A-121.050:± 0.5微米

    A-121.100:± 0.5微米

    A-121.150:± 0.5微米

    A-121.200:± 0.5微米

    A-121.250:± 0.5微米

    A-121.350:± 0.5微米

    其他

    A-121

    工作压力(5)

    65至75磅 /平方英寸(450至520千帕)

    耗气量

    < 1.0 SCFM (28 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

    无油 - ISO 8573‑1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573-1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于平台安装表面的平面度。

    (2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

    (3)假定4096x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (4)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (5)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

    6)假定空气轴承工作压力为70磅/平方英寸(480千帕)。