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中型精密六足位移台H-824


紧凑、精确 负载容量达10 公斤,自锁版本 行程达45 毫米/25度 最小位移达0.3 微米 重复精度至±0.1 微米/±2微弧度 速度达25毫米/秒 可提供真空兼容版本

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  • 产品描述
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    • 商品名称: 中型精密六足位移台H-824
    • 商品编号: H-824
    • 概要介绍: 紧凑、精确 负载容量达10 公斤,自锁版本 行程达45 毫米/25度 最小位移达0.3 微米 重复精度至±0.1 微米/±2微弧度 速度达25毫米/秒 可提供真空兼容版本

    精密级六轴定位系统

    六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容版本可达10-6百帕

    折叠驱动设计,外形紧凑

    应用领域

    科研和工业,标准和真空环境。用于显微操纵、生物技术、半导体制造

    关键词:
    • 位移
    • 紧凑
    • 运动
    • 系统
    • 设计
    • 真空
    • 范围
    • 移动
    • 折叠
    • 驱动
  • 规格

    运动和定位

    H-824.G2 / G2V**

    H-824.D2 / D2V**

    单位

    公差

     

    实现更高分辨率和负载

    实现更高速度

     

     

    主动轴

    X,Y,Z,θX,θY,θZ

    X,Y,Z,θX,θY,θZ

     

     

    X、Y向上的行程*

    ±22.5

    ±22.5

    毫米

     

    Z向上的行程*

    ±12.5

    ±12.5

    毫米

     

    θX、θY向上的行程*

    ±7.5

    ±7.5

    °

     

    θZ向上的行程*

    ±12.5

    ±12.5

    °

     

    促动器设计分辨率

    0.007

    0.5

    微米

     

    X、Y和Z向上的最小位移

    0.3

    2; 2; 1

    微米

    典型值

    θX、θY、θZ向上的最小位移

    3.5

    12; 12; 14

    微弧度

    典型值

    X、Y向上的空回

    2; 2 / 5; 5

    1.5 / 3

    微米

    典型值

    Z向上的空回

    0.7 / 1.5

    1 / 1.5

    微米

    典型值

    θX、θY向上的空回

    14 / 30

    15 / 20

    微弧度

    典型值

    θZ向上的空回

    17 / 45

    30 / 60

    微弧度

    典型值

    X、Y向上的重复精度

    ±0.25 / ±0.4

    ±0.5

    微米

    典型值

    Z向上的重复精度

    ±0.1

    ±0.15

    微米

    典型值

    θX、θY向上的重复精度

    ±2

    ±3

    微弧度

    典型值

    θZ向上的重复精度

    ±2 / ±3

    ±2.5

    微弧度

    典型值

    X、Y和Z向上的最大速度

    1 / 0.5

    25 / 12.5

    毫米/秒

     

    θX、θY、θZ向上的最大速度

    11 / 5.5

    270 / 135

    毫弧度/秒

     

    Typ. X、Y和Z向上的典型速度

    0.5 / 0.2

    10 / 5

    毫米/秒

     

    Typ. θX、θY、θZ向上的速度

    5.5 / 2.3

    55 / 28

    毫弧度/秒

     

    机械特性

    H-824.G2 / G2V**

    H-824.D2 / D2V**

    单位

    公差

    X、Y向上的刚性

    1.7

    1.7

    牛/微米

     

    Z向上的刚性

    7

    7

    牛/微米

     

    负载能力(底板为水平方向)

    10 / 5

    5 / 2.5

    千克

    最大

    负载能力(底板为任意方向)

    5 / 2.5

    2.5 / 1.25

    千克

    最大

    保持力(断电、底板为水平方向)

    100 / 50

    15

    最大

    保持力(断电、底板为任意方向)

    50 / 25

    5

    最大

    电机类型

    直流齿轮电机

    直流电机

     

     

    其他

    H-824型。G2 / G2V**

    H-824型。D2 / D2V**

    单位

    公差

    工作温度范围

    -10 到 50

    -10 到 50

    摄氏度

     

    材料

     

     

    质量

    8

    8

    千克

    ±5 %

    电缆长度

    3

    3

    ±10 毫米

    推荐控制器

    C-887.5倍

    C-887.5倍

     

     

    技术参数为 20±3 °C下的数值。

    * 单个坐标(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

    **对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制。