PIMars六轴压电平台系统

六自由度高精度纳米定位系统
6个运动轴：3个为线性，3个为旋转
行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏摆角）
并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
电容式传感器带来最高线性度
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
优异的扫描平面度
通孔尺寸66 毫米×66 毫米
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
超高真空兼容至10-9百帕

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商品名称: PIMars六轴压电平台系统
商品编号: P-562.6CD
概要介绍: 六自由度高精度纳米定位系统 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转 行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏摆角） 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度 电容式传感器带来最高线性度 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 优异的扫描平面度 通孔尺寸66 毫米×66 毫米 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 超高真空兼容至10-9百帕

应用领域

扫描显微镜

超分辨率显微镜

生物技术

掩模/晶圆定位

样本定位

干涉测量

计量

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

	P-562.6CD	单位	公差
主动轴	X，Y，Z，θ_X，θ_Y，θ_Z
运动和定位
集成传感器	电容式
X、Y、Z向上的闭环行程	200	微米
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的闭环偏摆角	±0.5	毫弧度
X、Y、Z向上的闭环分辨率	1	纳米	典型值
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的闭环分辨率	0.1	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的线性误差	0.01	%	典型值
θ_X、θ_Y、_Z向上的线性误差	0.1	%	典型值
X/Y/Z向上的重复精度	±2 / ±2 / ±3	纳米	典型值
θ_X/θ_Y/θ_Z向上的重复精度	±0.1 / ±0.1 / ±0.15	微弧度	典型值
平面度	<15	纳米	典型值
机械特性
X/Y/Z向上的空载谐振频率	110 / 110 / 190	赫兹	±20 %
负载能力*	5	千克	最大
驱动特性
陶瓷类型	PICMA
X/Y/Z向上的电容	7.4 / 7.4 / 14.8	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	°C
材料	铝
质量	1.45	千克	±5 %
电缆长度	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	2 × Sub-D 25W3（公头）
推荐电控	E-712