亚微米级精密步进电机平台NFS-PX

10nm分辨率闭环控制平台 / NFS-PX
使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。
◦ 由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。
◦ 从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
◦ 提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
◦ 10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。

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品牌: 西格玛光机
商品名称: 亚微米级精密步进电机平台NFS-PX
商品编号: NFS-PX
概要介绍: 10nm分辨率闭环控制平台 / NFS-PX 使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。 ◦ 由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。 ◦ 从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。 ◦ 提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。 ◦ 10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。

n 信息：

▶控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

▶可从西格玛光机的官网下载以下参考程序。

◦SG Sample 32/64bit版Windows®用

◦LabVIEW

n 注意：

▶请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）

▶请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。

▶请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。

▶如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。

NFS系列平台行程选择要点 ※如需其它行程，请向我们咨询。
行程
20 mm	台面尺寸75×60 mm 节省空间，可在对行程要求不高的情况下选用。
40 mm	台面尺寸110×60 mm 安定性最好，如果有足够的安装空间与使用空间，建议选用。
50 mm	台面尺寸100×100 mm、120×120 mm 需要大行程、高分辨率定位时选用。
100 mm	台面尺寸175×100 mm、175×120 mm 需要大行程、高分辨率定位时选用。
200 mm	台面尺寸230×180 mm 需要大行程、高分辨率定位时选用。有10nm和50nm两种分辨率可供选用。
300 mm	台面尺寸330×180 mm 需要大行程、高分辨率定位时选用。有10nm和50nm两种分辨率可供选用。

技术指标
型号			NFS60-20PX	NFS60-40PX	NFS100-50PX	NFS100-100PX
机械技术指标	行程〔mm〕		20	40	50	100
	台面尺寸〔mm〕		75×60	110×60	100×100	175×100
	丝杠		滚珠丝杠直径 φ4mm 导程 1mm	滚珠丝杠直径 φ4mm 导程 1mm	滚珠丝杠直径 φ8mm 导程 1mm	滚珠丝杠直径 φ8mm 导程 1mm
	导轨形式		十字交叉滚柱导轨	十字交叉滚柱导轨	十字交叉滚柱导轨	十字交叉滚柱导轨
	平台台面材料		铝合金	铝合金	铝合金	铝合金
	表面処理		黑色氧化	黑色氧化	黑色氧化	黑色氧化
	自重〔kg〕		0.5	1.0	2.7	3.7
精度仕様	分辨率※1	(Full)〔μm/脉冲〕	2	2	2	2
	分辨率※1	(Half)〔μm/脉冲〕	1	1	1	1
	最大速度[mm/sec]		10	10	10	10
	定位精度〔μm〕※2		1	1	1	2
	重复定位精度〔μm〕※2		0.5	0.5	0.5	0.5
	微小范围双方向重复定位精度※3		±20nm	±20nm	±20nm	±20nm
	最小位移量 (参考数据)		30nm	30nm	30nm	30nm
	承载能力〔N〕		49（5.0kgf）	49（5.0kgf）	98（10.0kgf）	98（10.0kgf）
	扭矩刚度	俯仰〔″/N・cm〕	0.5	0.5	0.05	0.05
		偏摆〔″/N・cm〕	0.5	0.5	0.05	0.05
		转动〔″/N・cm〕	0.5	0.5	0.05	0.05
	空行程〔μm〕		0.5	0.5	0.5	0.5
	传动副间隙〔μm〕		1	1	1	1
	平行度〔μm〕		50	50	50	50
	运动平行度〔μm〕		10	10	10	10
	俯仰〔″〕/偏摆〔″〕		15/15	15/15	15/15	15/15
电机	类型		5相步进电机 0.35A/相 (ORIENTAL MOTOR㈱)		5相步进电机 0.75A/相 (ORIENTAL MOTOR㈱)
电机	型号		PK523PB-C7 (□28mm)		PK545NBW (□42mm)
编码器	光栅尺分辨率〔nm〕		10	10	10	10

技术指标
型号			NFS120-50PX	NFS120-100PX	NFS180-200PX	NFS180-300PX
机械技术指标	行程〔mm〕		50	100	200	300
	台面尺寸〔mm〕		120×120	175×120	230×180	330×180
	丝杠		滚珠丝杠直径 φ8mm 导程 1mm	滚珠丝杠直径 φ8mm 导程 1mm	滚珠丝杠直径 φ10mm 导程 2mm	滚珠丝杠直径 φ10mm 导程 2mm
	导轨形式		十字交叉滚柱导轨	十字交叉滚柱导轨	LM导轨	LM导轨
	平台台面材料		铝合金	铝合金	铝合金	铝合金
	表面処理		黑色氧化	黑色氧化	黑色氧化	黑色氧化
	自重〔kg〕		3.0	4.0	13.2	17
精度仕様	分辨率※1	(Full)〔μm/脉冲〕	2	2	4	4
	分辨率※1	(Half)〔μm/脉冲〕	1	1	2	2
	最大速度[mm/sec]		10	10	20	20
	定位精度〔μm〕※2		1	2	2	2
	重复定位精度〔μm〕※2		0.5	0.5	0.6	0.6
	微小范围双方向重复定位精度※3		±20nm	±20nm	±20nm	±20nm
	最小位移量 (参考数据)		30nm	30nm	30nm	30nm
	承载能力〔N〕		98（10.0kgf）	98（10.0kgf）	196（20.0kgf）	196（20.0kgf）
	扭矩刚度	俯仰〔″/N・cm〕	0.05	0.05	0.02	0.02
		偏摆〔″/N・cm〕	0.05	0.05	0.02	0.02
		转动〔″/N・cm〕	0.05	0.05	0.02	0.02
	空行程〔μm〕		0.5	0.5	0.6	0.6
	传动副间隙〔μm〕		1	1	1	1
	平行度〔μm〕		50	50	100	100
	运动平行度〔μm〕		10	10	20	20
	俯仰〔″〕/偏摆〔″〕		15/15	15/15	20/20	20/20
电机	类型		5相步进电机 0.75A/相 (ORIENTAL MOTOR㈱)
电机	型号		PK545NBW (□42mm)
编码器	光栅尺分辨率〔nm〕		10	10	10	10