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大型XY一体式空气轴承磁性电机平台A-322


分辨率为1纳米的XY定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达500毫米 × 1000毫米 负载容量达245牛 分辨率达1纳米 速度高达2毫米/秒

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 大型XY一体式空气轴承磁性电机平台A-322
    • 商品编号: A-322
    • 概要介绍: 分辨率为1纳米的XY定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达500毫米 × 1000毫米 负载容量达245牛 分辨率达1纳米 速度高达2毫米/秒

    PIglide参考级XY定位系统

    PIglide HS平面扫描仪带多个磁性线性电机和一个绝对编码器,并采用真空预载:非接触式无摩擦运动可实现较高精度和可靠性。

    该定位系统旨在较大程度地提高产出并确保较高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦,不会牺牲系统的刚性。

    A-322与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合,可提供优异的伺服性能、先进控制算法,从而提高动态性能和误差补偿,并改善一整套软件开发工具。

    A-322系列是实现进一步改型的出发点。我们已经开发并测试了关键的核心组件(例如线性电机、测量系统和空气轴承总成),同时验证了其功能。根据客户的应用和要求,A-322系列的变体为量身定制的超精密解决方案提供了理想的出发点。

    绝对编码器

    绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

    附件和可选配件

    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 额外的轴
    • 机器底座
    • 花岗岩底座板和隔振系统
    • 适合其他定位器的底座,例如偏摆台或带有压电驱动器的6轴定位器。

    应用领域

    PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。

    由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

    3种性能级别和价位

    • 基础:XY龙门设计,带3台标准线性电机。
    • 加强:XY龙门设计,带3台高性能液冷式线性电机。适用于高占空比和高加速度的应用。
    • 超强:XY龙门设计,带4台高性能液冷式线性电机。X轴和Y轴均配有2台线性电机和2个线性编码器。这种设计提高了定位精度、重复精度和误差补偿,对于大尺寸的负载尤其如此。

    PIMag磁力直接驱动

    三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

    使用寿命长,与无尘室兼容的牵引链

    A-322采用耐用的高质量带状电缆和气动软管。经过大量的研究与开发,我们优化了可实现数百万次免维护周期的电缆管理系统。铁氟龙涂层确保了较低的颗粒形成率。

    关键词:
    • xy
    • 直接
    • 系统
    • 控制
    • piglide
    • 驱动器
    • 适合
    • 控制器
    • 驱动力
  • 规格

    型号

    单位

    A-322基础型

    A-322加强型

    A-322超强型

    精度/动力学

     

    标准/标准

    标准/高

    高/高

    运动

     

     

     

     

    行程,桥轴

    毫米

    350;500

    350;500

    350;500

    行程,龙门轴

    毫米

    350;500

    350;500;750

    350;500;750;1000

    运动平台的尺寸

     

    250 × 268

    250 × 268

    250 × 318

    导轨

     

    真空预载空气轴承

    真空预载空气轴承

    真空预载空气轴承

    集成传感器

     

    绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规

    绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规

    绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规

    传感器分辨率

    纳米

    1

    1

    1

    负载容量

    千克

    15

    20

    30

    双向重复精度(2)

    微米

    ±0.15

    ±0.15

    ±0.05

    定位精度,已校准(2)

    微米

    ±0.35

    ±0.35

    ±0.2

    直线度(2)

    微米

    1

    1

    0.5

    平面度

    微米

    2

    2

    2

    俯仰角

    微弧度

    10

    10

    10

    偏转角(2)

    微弧度

    5

    5

    2

    XY正交性

    微弧度

    5

    5

    2

    最大速度,空载(3)

    米/秒

    0.5

    1

    1

    最大加速度,空载(3)

    米/平方秒

    10

    20

    20/15(桥轴/龙门轴)

    位置稳定性

    纳米

    ±30

    ±30

    ±30

    运动质量,桥轴

    千克

    14

    14

    20

    运动质量,龙门轴

    千克

    取决于桥轴行程:

    350毫米:40千克

    500毫米:44千克

    取决于桥轴行程:

    350毫米:53千克

    500毫米:56千克

    取决于桥轴行程:

    350毫米:70千克

    500毫米:75千克

    (1)假定空气轴承工作压力为550千帕。有效载荷重心位于距离运动平台表面不超过50毫米的位置。

    (2)需要基于控制器的误差补偿。定位器须与PI/ACS控制器一同订购。数值取短时间段,并且不考虑平台上热漂移的长期影响。

    (3)取决于所选电机、控制器性能、占空比、负载以及其他应用特定的参数。加速度、占空比和运动曲线应与PI应用工程师达成一致。

    总重量取决于客户特定的花岗岩底座。

    这些值用作500毫米 × 500毫米行程的示例。有关其他行程的确切规格,请与PI联系。

    驱动器特性

    (视电机而定)

    单位

    A-322基础型

    桥轴/龙门轴

    A-322加强型

    桥轴/龙门轴

    A-322超强型

    桥轴/龙门轴

    电机数量

     

    1根桥轴,2根龙门轴

    1根桥轴,2根龙门轴

    2根桥轴,2根龙门轴

    标称电压,直流

    70/70

    70/70

    70/70

    峰值电压,直流

    300/300

    300/300

    300/300

    标称力

    87/87

    140/140

    87/140

    峰值力

    300/300

    480/480

    300/480

    力常数,均方根

    牛/安

    19.9/19.9

    27.5/27.5

    19.9/27.5

    标称电流,均方根

    4.4/4.4

    5.1/5.1

    4.4/5.1

    峰值电流,均方根

    15/15

    17.5/17.5

    15/17.5

    相间反电动势

    伏秒/米

    16/16

    22.5/22.5

    16/22.5

    相间电阻

    欧姆

    3.6/3.6

    2.6/2.6

    3.6/2.6

    相间电感

    毫亨

    1.2/1.2

    2.0/2.0

    1.2/2.0

    冷却系统

     

    水,20摄氏度,2至3升/分钟

    水,20摄氏度,2至3升/分钟

    其他

    A-322(所有型号)

    工作压力

    550±35千帕(80±5磅/平方英寸)

    耗气量

    外部抽真空:56升/分钟(2标准立方英尺每分)

    内部抽真空:112升/分钟(4标准立方英尺每分)

    真空

    74.66千帕(560毫米汞柱),14升/分(0.5标准立方英尺每分)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573‑1 级别1

    无油 - ISO 8573‑1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573‑1 级别3

    材料

    花岗岩底座

    硬膜铝

    镀镍钢侧轨

    固定硬件由不锈钢制成

    推荐控制器

    A-81x,A-82x