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H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台


快速、紧凑、高精度 行程达±17 毫米 / ±21度 负载容量达5 公斤 重复精度达±0.06 微米 速度达20 毫米/秒 超长使用寿命 可提供真空兼容版本

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台
    • 商品编号: H-811.I2/I2V
    • 概要介绍: 快速、紧凑、高精度 行程达±17 毫米 / ±21度 负载容量达5 公斤 重复精度达±0.06 微米 速度达20 毫米/秒 超长使用寿命 可提供真空兼容版本

    参考级六轴定位系统

    六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10-6百帕

    应用领域

    科研和工业,标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。

    无刷直流电机(BLDC)

    无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触,可无磨损地平稳运行,因此能够实现较长的使用寿命。

     

  • 运动和定位

    H-811.I2 / .I2V**

    单位

    公差

    主动轴

    X,Y,Z,θX,θY,θZ

     

     

    X、Y向上的行程*

    ±17, ±16

    毫米

     

    Z向上的行程*

    ±6.5

    毫米

     

    θX、θY向上的行程*

    ±10, ±10

    °

     

    θZ向上的行程*

    ±21

    °

     

    促动器设计分辨率

    5

    纳米

     

    X、Y向上的最小位移

    0.2

    微米

    典型值

    Z向上的最小位移

    0.08

    微米

    典型值

    θX、θY向上的最小位移

    2.5

    微弧度

    典型值

    θZ向上的最小位移

    5

    微弧度

    典型值

    X、Y向上的空回

    0.2

    微米

    典型值

    Z向上的空回

    0.06

    微米

    典型值

    θX、θY向上的空回

    2

    微弧度

    典型值

    θZ向上的空回

    4

    微弧度

    典型值

    X、Y向上的重复精度

    ±0.15

    微米

    典型值

    Z向上的重复精度

    ±0.06

    微米

    典型值

    θX、θY向上的重复精度

    ±2

    微弧度

    典型值

    θZ向上的重复精度

    ±3

    微弧度

    典型值

    X、Y和Z向上的最大速度

    20 / 10

    毫米/秒

     

    θX、θY、θZ向上的最大速度

    500 / 250

    毫弧度/秒

     

    Typ. X、Y和Z向上的典型速度

    10 / 5

    毫米/秒

     

    Typ. θX、θY、θZ向上的速度

    240 / 120

    毫弧度/秒

     

    机械特性

    H-811.I2 / .I2V**

    单位

    公差

    X、Y向上的刚性

    0.7

    牛/微米

     

    Z向上的刚性

    8

    牛/微米

     

    负载能力(底板为水平方向)

    5

    千克

    最大

    负载能力(底板为任意方向)

    2.5

    千克

    最大

    保持力(断电、底板为水平方向)

    15

    最大

    保持力(断电、底板为任意方向)

    2.5

    最大

    电机类型

    BLDC电机

     

     

    其他

    H-811.I2 / .I2V**

    单位

    公差

    工作温度范围

    0 到 50

    °C

     

    材料

    不锈钢,铝

     

     

    质量

    2.2

    千克

    ±5 %

    电缆长度

    0.5+3/3(空气)+2(真空)

    ±10 毫米

    推荐控制器

    C-887.5x

     

     

    技术参数为 20±3 °C下的数值。

    * 单个坐标(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

    **对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制。