产品管理
  • 全部
  • 产品管理

小型空气轴承音圈电机线性平台A-131


产品数据表下载:

留言反馈 >>
undefined
undefined
+
  • undefined
  • undefined
  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 小型空气轴承音圈电机线性平台A-131
    • 商品编号: A-131
    • 概要介绍: 高性能微型纳米定位系统 扫描应用或高精度定位的理想选择 洁净室兼容 行程范围达 25 mm 负载能力达 30 N 加速度达 40 m/s2

    产品概述

    带空气轴承和音圈驱动器的PIglide平台外形紧凑,可提供高速度和高加速度。

    运动平台的部件无接触,可确保最高的性能、质量和使用寿命。

    附件和可选配件

    • PIglide过滤器和空气预处理器
    • 单轴和多轴运动控制器

    音圈驱动器技术

    音圈驱动器由两个基本零件组成:永磁体和线圈,线圈位于磁场的气隙中。当电流流过线圈时,线圈在永磁体的磁场中移动。运动方向取决于极性。音圈驱动器具有低重量并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。

    应用领域

    高速扫描、制造业中的应用。

    由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

    关键词:
    • 空气轴承
    • 驱动器
    • 线圈
    • 运动
    • 应用
    • 平台
    • piglide
    • 因此
    • 摩擦
    • 磁场
  • 运动

    A-131.025A1

    单位

    公差

    主动轴

    X

     

     

    行程

    25

    毫米

     

    螺距(1)

    10

    微弧度

    最大

    偏转角(1)

    10

    微弧度

    最大

    直线度/平面度(1)

    0.5

    微米

    最大

    速度,空载(2)

    1

    米/秒

    最大

    加速度,空载(2)

    80

    米/平方秒

    最大

    机械特性

    A-131.025A1

    单位

    公差

    Z向负载能力(3)

    30

    最大

    移动质量

    0.85

    千克

     

    总质量

    3.6

    千克

     

    导向类型

    空气轴承

     

     

    驱动特性

    A-131.025A1

    单位

    公差

    驱动类型

    无刷音圈驱动器,无铁芯,单相

     

     

    中间电路电压,均方根

    48,标称值

    80,最大值

    伏直流

     

    标称电流,均方根

    3

    最大

    峰值电流,均方根

    10

    最大

    峰值力

    70.4

    典型值

    标称力

    22.3

    典型值

    力常数,均方根

    6.9

    牛/安

    典型值

    电阻

    2.7

    欧姆

    典型值

    电感(1000赫兹时)

    1.4

    毫亨

    典型值

    互感

    6.9

    伏·秒/米

     

    标称功率

    28

    最大

    布线

    内部,无移动电缆

     

     

    定位

    A-131.025A1

    集成传感器

    增量线性编码器

    传感器信号

    正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期

    传感器分辨率

    1.2纳米(4)

    双向重复性

    ±0.1微米(4)

    定位精度,未校准

    ±2.0微米

    定位精度,已校准(5)

    ±0.25微米

    参考点开关

    主页

    其他

    A-131.025A1

    工作压力(6)

    75至85磅 /平方英寸(520至585千帕)

    耗气量

    < 1.0 SCFM (28 SLPM)

    空气质量

    清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1

    无油 - ISO 8573–1 级别1

    干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3

    材料

    硬膜铝,不锈钢固定硬件

    (1)取决于平台安装表面的平面度。

    (2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

    (3)假定重心居中,位于离运动平台不超过50毫米的位置。

    (4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。

    (5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。

    (6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

产品型号

适用波长

〔nm〕

外径 φD

〔mm〕

厚度 t

〔mm〕

反射率

〔%〕

损失

〔ppm〕

3D图纸

询价

适用波长
外径
厚度
损失
条件:
清空条件