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小型空气轴承音圈电机线性平台A-142


高性能 • 洁净室兼容 • 可选择垂直安装 速度可达 450 mm/s 加速度达 20 m/s2 传感器分辨率:5 nm 扁平厚度仅为 27 mm 非常紧凑的运动平台:75 mm × 80 mm 行程范围达 10 mm 负载能力达 3 kg

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  • 产品描述
  • 规格
    • 商品名称: 小型空气轴承音圈电机线性平台A-142
    • 商品编号: A-142
    • 概要介绍: 高性能 • 洁净室兼容 • 可选择垂直安装 速度可达 450 mm/s 加速度达 20 m/s2 传感器分辨率:5 nm 扁平厚度仅为 27 mm 非常紧凑的运动平台:75 mm × 80 mm 行程范围达 10 mm 负载能力达 3 kg

    超小型电动空气轴承直线平台

    A-142微型线性平移平台是一种独特的高性能精密纳米定位系统,具有直驱音圈直线电机、高分辨率线性编码器和无摩擦和刚性空气轴承导轨。它非常适合免维护、高占空比的工业扫描和定位应用。这种音圈驱动舞台的特殊设计不使用任何内部移动电缆。

    小型化平台设计,实现高性能直线运动

    尽管体积小,但这种微型线性平移平台提供了带有机械轴承的传统平台无法满足的高性能线性运动。空气轴承滑块不需要润滑剂,也不会产生颗粒,这使得它们与洁净室兼容,这是光子学、光学和半导体相关测试、计量和对准应用的另一个优势。由于直驱、音圈直线电机和空气轴承完全免维护、无磨损,因此这种紧凑的平移平台可用于工业、高吞吐量、24/7 精密运动应用。

    高精度、可重复性和超平稳运动

    基于直接测量的直线编码器,以及直驱电机和空气轴承直线导轨的摩擦,这种小型化的空气轴承滑轨可以在非常宽的动态范围内提供极其平稳的运动。它提供高达 450 mm/s 的高速和高达 2 g 的高加速度。集成式线性编码器具有 5 纳米的传感器分辨率,载物台平台提供最小 50 纳米的增量运动。它可以被命令到其行程范围内的任何位置,位置重复精度为0.1 μm。音圈直线电机平台的高速和加速度是高速扫描应用的一项优势。

    垂直 Z 级操作 – 平衡选项

    A-142微型平移平台还配有平衡台,可作为垂直定位平台运行。平衡装置在稳定阶段/位置保持操作期间保持电机电流降低。

    多轴微型载物台应用 – 微型 XY 工作台和 XYZ 载物台

    两个 A-142 空气轴承微型平台可以组装成一个微型 XY 工作台,并且还提供紧凑的 3 轴平台组合,例如在小型光学或光纤组件上处理复杂的高速多轴对准任务。与 PI 工程师讨论您的应用,以获得有关最佳系统配置的免费建议。

    运动控制器、编程、计算机控制选项

    PI提供一系列高性能运动控制器,用于编程和操作这些空气轴承微型线性滑轨。我们推荐兼容 EtherCat 的控制器,例如 A-811 – A-814 系列基于 ACS 的高性能运动控制器。PI运动控制器附带大量编程示例、可用的校准例程和仿真工具,允许客户在运动系统发货前编写程序并运行基本系统测试。®

    为什么要使用空气轴承和空气轴承平台?

    直线空气轴承(以及旋转空气轴承)比传统机械轴承具有更好的几何性能(螺距、偏航、滚动、直线度和平整度、摆动和偏心)。它们用无摩擦气膜取代了机械滚珠轴承或交叉滚子轴承的滚动或滑动接触,从而实现了几乎无限的使用寿命。空气轴承直线滑轨和转台非常适合洁净室应用,因为它们不依赖润滑剂,也不会产生颗粒。PI拥有拥有数十年空气轴承设计、制造和装配经验的工程团队,可以提供广泛的空气轴承运动系统,从标准的单轴微型平台到复杂的定制多轴花岗岩运动系统。

    为什么在紧凑型线性平台中使用音圈电机?

    音圈直线电机提供无摩擦的直线运动,具有非常快速的响应、加速度和高速度。对于需要 24/7 高动态扫描运动的应用,行程范围通常为 25 毫米(1 英寸)或更低,音圈直线电机是理想的解决方案。其紧凑的设计、免维护和无颗粒生成操作是额外的优势。对于更长的行程范围,建议使用三相直线电机,例如 A-123 空气轴承直线滑轨或带机械轴承的 V-417 直线平台。

    附件和选件

    • PIglide过滤器和空气制备套件
    • 用于垂直载物台安装的气动平衡

    微型空气轴承台的应用

    A-142 空气轴承微型线性平台非常适合高精度运动应用,例如计量、光子对准系统、光学定位和扫描。非接触式设计是洁净室应用的理想选择。

    关键词:
    • 空气轴承
    • 平台
    • 运动
    • 直线
    • 应用
    • 微型
    • 电机
    • 线性
    • 提供
  • Motion A-142.010A1 A-142.010A2 Tolerance
    Active axes X X  
    Travel range in X 10 mm 10 mm  
    Acceleration in X, unloaded 20 m/s² 20 m/s² max.
    Maximum velocity in X, unloaded 450 mm/s 450 mm/s  
    Straightness (Linear crosstalk in Y with motion in X) ± 0.1 µm ± 0.1 µm typ.
    Flatness (Linear crosstalk in Z with motion in X) ± 0.5 µm ± 0.5 µm typ.
    Positioning A-142.010A1 A-142.010A2 Tolerance
    Bidirectional repeatability in X ± 0.1 µm ± 0.1 µm typ.
    Positioning accuracy in X, calibrated ± 0.2 µm ± 0.2 µm typ.
    Minimum incremental motion in X 0.05 µm 0.05 µm typ.
    Integrated sensor Incremental linear encoder Incremental linear encoder  
    Sensor signal Sin/cos, 1 V peak-peak Sin/cos, 1 V peak-peak  
    Sensor resolution 5 nm 5 nm  
    Sensor signal period 20 µm 20 µm  
    Reference switch Encoder index Encoder index  
    Limit switches Hall effect Hall effect  
    Drive Properties A-142.010A1 A-142.010A2 Tolerance
    Drive type Voice coil Voice coil  
    Nominal voltage 48 V 48 V  
    Peak voltage 80 V 80 V  
    Nominal current, RMS 0.5 a 0.5 a typ.
    Peak current, RMS 2 a 2 a typ.
    Drive force in negative direction of motion in X 5 N 5 N typ.
    Drive force in positive direction of motion in X 5 N 5 N typ.
    Peak force in negative direction of motion in X 20 N 20 N  
    Peak force in positive direction of motion in X 20 N 20 N  
    Force constant 10 N/A 10 N/A  
    Resistance phase-phase 7 Ω 7 Ω typ.
    Inductance phase-phase 7.8 mH 7.8 mH  
    Back EMF 9.7 V·s/m 9.7 V·s/m max.
    Mechanical Properties A-142.010A1 A-142.010A2 Tolerance
    Guide Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload  
    Moved mass in X, unloaded 250 g 250 g  
    Permissible push force in X 10 N 10 N max.
    Permissible push force in Z 30 N 30 N max.
    Permissible torque in θx 0.5 N·m 0.5 N·m max.
    Permissible torque in θY 0.5 N·m 0.5 N·m max.
    Overall mass 600 g 600 g  
    Material Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware  
    Miscellaneous A-142.010A1 A-142.010A2 Tolerance
    Connector D-Sub 3W3 (m) D-Sub 3W3 (m)  
    传感器连接器 D-sub 15 极 (m) D-sub 15 极 (m)  
    空气轴承连接 用于外径为 4 mm 的软管的插头连接 用于外径为 4 mm 的软管的插头连接  
    工作压力 445 至 515(865 至 75 psi)kPa 445 至 515(65 至 75 psi)kPa  
    耗气量 28 升/分钟 28 升/分钟 麦克斯。
    空气质量 清洁(过滤至 1.0 μm 或更高) - ISO 8573–1 1 级 无油 - ISO 8573–1 1 级 干燥(-15 °C 露点) - ISO 8573–1 3 级 清洁(过滤至 1.0 μm 或更高) - ISO 8573–1 1 级 无油 - ISO 8573–1 1 级 干燥(-15 °C 露点) - ISO 8573–1 3 级  
    推荐的控制器/驱动程序

    A-81x 基于 ACS 的运动控制器,满足中等功率要求,2 / 4 / 6 轴

    A-82x 基于 ACS 的运动控制器,满足高功率要求,4 / 6 / 8 轴

    A-81x 基于 ACS 的运动控制器,满足中等功率要求,2 / 4 / 6 轴

    A-82x 基于 ACS 的运动控制器,满足高功率要求,4 / 6 / 8 轴

     
    电缆长度 0.5 米 0.5 米  
    工作温度范围 +15 至 +25 °C +15 至 +25 °C