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Q-Motion®小型线性平台


带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台 宽仅21毫米、高仅10毫米 采用集成式增量编码器实现直接位置测量 编码器分辨率高达1纳米 最小位移高达2纳米 带接装板或支架(作为选配件提供)的多轴系统装置

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    • 商品名称: Q-Motion®小型线性平台
    • 商品编号: Q-521
    • 概要介绍: 带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台 宽仅21毫米、高仅10毫米 采用集成式增量编码器实现直接位置测量 编码器分辨率高达1纳米 最小位移高达2纳米 带接装板或支架(作为选配件提供)的多轴系统装置

    ​​​​​压电惯性驱动器

    压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为6毫米/秒的速度。

    应用领域

    微装配. 光子. 光学对准. 显微镜. 高能束线设备. 半导体技术. 测试.

    直接测量原理

    线性平台配备非接触式测量光学线性编码器和参考点开关。分辨率为4 纳米或1 纳米,取决于不同版本。

  • 运动和定位

    Q-521.130/Q-521.140

    Q-521.230/Q-521.240

    Q-521.330/Q-521.340

    单位

    主动轴

    X

    X

    X

     

    行程

    12

    22

    32

    毫米

    最大速度,闭环

    6

    6

    6

    毫米/秒

    最小位移

    Q-521.130:8

    Q-521.140:2

    Q-521.230:8

    Q-521.240:2

    Q-521.330:8

    Q-521.340:2

    纳米

    俯仰角

    300

    300

    300

    微弧度

    偏转角

    100

    300

    400

    微弧度

    线性度

    3.5

    3.5

    3.5

    微米

    集成传感器

    线性编码器

    线性编码器

    线性编码器

     

    传感器分辨率

    Q-521.130:4

    Q-521.140:1

    Q-521.230:4

    Q-521.240:1

    Q-521.330:4

    Q-521.340:1

    纳米

    参考点开关

    光学

    光学

    光学

     

    双向重复精度

    Q-521.130:150

    Q-521.140:80

    Q-521.230:150

    Q-521.240:80

    Q-521.330:150

    Q-521.340:80

    纳米

    机械特性

    Q-521

    单位

    最大负载能力,水平方向

    0.3

    千克

    最大负载能力,任意方向

    0.06

    千克

    导向类型

    交叉滚柱轴承

     

    驱动特性

    Q-521

    单位

    驱动力

    0.6

    保持力

    1.3

    电机类型

    压电惯性驱动器

     

    其他

    Q-521.1xx

    Q-521.2xx

    Q-521.3xx

    单位

    工作温度

    0 到 40

    0 到 40

    0到40

    摄氏度

    电缆长度

    1

    1

    1

    电机/传感器连接器

    D-sub 15针(公头)

    D-sub 15针(公头)

    D-sub 15针(公头)

     

    不含电缆和连接器的质量

    24

    34

    48

    质量(包含电缆和连接器)

    110

    126

    135

    材料

    不锈钢

    不锈钢

    不锈钢

     

    尺寸

    30 毫米 × 21 毫米 × 10 毫米

    31.6 毫米 × 21 毫米 × 10 毫米

    42.2 毫米 × 21 毫米 × 10 毫米

     

    推荐电控

    E-873.1AT、E-873.10C885

    E-873.1AT、E-873.10C885

    E-873.1AT、E-873.10C885

     

    *控制频率为20千赫兹时的典型速度

    采用E-873.1AT测试的规格