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干涉仪用五维大型镜架

干涉仪用五维大型镜架◇ 镜片尺寸：～6inch◇ XY移动范围：±6.5mm◇ Z轴移动范围：±50mm◇
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参数

干涉仪用五维大型镜架

◇  镜片尺寸：～6inch

◇  XY移动范围：±6.5mm

◇  Z轴移动范围：±50mm

◇  θy/θz: 2°

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