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西格玛精密平台（压电陶瓷）
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产品编号
所属分类
压电陶瓷
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产品详细描述
参数
采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
◦采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
◦采用压电陶瓷作为驱动机构，环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。
◦位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
◦使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
◦重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。使用FINE-01γ的 模拟信号驱动时，可达25Hz。
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中空型XY压电陶瓷平台
