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- 产品描述
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- 商品名称: 高速度,中型负载,低价格系统-H-84
- 商品编号: 1183807316822740992
精密HEXPOD,真空兼容型号达10的-6百帕真空度,负载达30KG,运动范围100mm/ 60°,移动速度达50
精密HEXPOD,真空兼容型号达10的-6百帕真空度,负载达30KG,运动范围100mm/ 60°,移动速度达50mm/s。
技术参数:
尺寸:直径350×330mm;
重复精度X/Y/Z:高达±0.4μm;
行程X/Y/Z:100×100×50mm;
最小运动量X/Y/Z:0.5~3 μm
角度行程θX/θY/θZ:30×30×60°;
最大速度:2.5,50mm/s。
水平面负载/任意安装角度下负载:10~30Kg;
产品型号
适用波长
〔nm〕
外径 φD
〔mm〕
厚度 t
〔mm〕
反射率
〔%〕
损失
〔ppm〕
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