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高速度，中型负载，低价格系统-H-84
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所属分类
高性价比六轴并联系统
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产品详细描述
参数
精密HEXPOD，真空兼容型号达10的-6百帕真空度，负载达30KG，运动范围100mm/ 60°，移动速度达50mm/s。
技术参数：
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尺寸：直径350×330mm； |
重复精度X/Y/Z：高达±0.4μm； |
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行程X/Y/Z：100×100×50mm； |
最小运动量X/Y/Z：0.5~3 μm |
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角度行程θX/θY/θZ：30×30×60°； |
最大速度：2.5，50mm/s。 |
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水平面负载/任意安装角度下负载：10~30Kg； |
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无
