内置光栅尺X轴自动平台系统 KST(GS)

Sigma koki(OptoSigma)西格玛光机制造的KST(GS)系列由作为位置基准（刻度）的光栅尺，和解读其

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Sigma koki(OptoSigma)西格玛光机制造的KST(GS)系列由作为位置基准（刻度）的光栅尺，和解读其

Sigma koki(OptoSigma)西格玛光机制造的KST(GS)系列由作为位置基准（刻度）的光栅尺，和解读其刻度获得位置信息的信号处理部组成。

在半导体，显示屏（FPD），电路板等电器制造，电子部品实装，机床等很多领域都广泛使用带光栅尺的产品。

信息

▶光栅尺的理论分辨率为0.05μm。

▶如希望不同于样本标示的分辨率的话，欢迎咨询。

注意

▶为了保证样本所示的技术指标，闭环控制KST(GS)系列平台，推荐将细分数设定为大于100（1个脉冲的位移小于0.05μm）的数值。

技术指标
型号			KST(GS)-50X	KST(GS)-100X	KST(GS)-200X
机械技术指标	行程〔mm〕		50	100	200
	台面尺寸〔mm〕		165×165	165×200	165×360
	丝杠〔mm〕		滚珠丝杠直径φ8　导程1	滚珠丝杠直径φ8　导程1	滚珠丝杠直径φ14　导程2
	导轨形式		十字交叉滚柱	十字交叉滚柱	十字交叉滚柱
	主要材料		钢材	钢材	钢材
	自重〔kg〕		9.2	14.3	19.4
精度技术指标	分解能	（整步）〔μm/脉冲〕	2	2	4
	分解能	（半步）〔μm/脉冲〕	1	1	2
	最大速度〔mm/sec〕		10	10	20
	定位精度〔μm〕		3	4	5
	重复定位精度〔μm〕		0.5	0.5	0.8
	承载能力〔N〕		392（40.0kgf）	392（40.0kgf）	392（40.0kgf）
	扭矩刚度	俯仰〔″/N·cm〕	0.01	0.01	0.01
		偏摆〔″/N·cm〕	0.01	0.01	0.01
		转动〔″/N·cm〕	0.005	0.005	0.005
	空行程〔μm〕		0.5	0.5	0.5
	传动副间隙〔μm〕		1	1	1
	平行度〔μm〕		50	70	100
	运动平行度〔μm〕		10	10	20
	俯仰〔″〕/偏摆〔″〕		15/15	20/20	20/20
传感器	传感器型号		微型光电传感器：PM-L24（SUNX（株））：极限位置传感器，原点传感器
	极限位置传感器		有（常闭）	有（常闭）	有（常闭）
	原点传感器		无	无	无
	近接原点传感器		无	无	无