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光纤定位用六自由度机器人 H-206
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产品编号
所属分类
高集成度，小负载系统
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产品详细描述
参数
光纤定位解决方案，包含光纤对芯综合扫描算法，致动器分辨率可达33nm。
技术参数：
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尺寸：直径228×220×158mm； |
重复精度X/Y/Z：±0.3μm； |
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行程X/Y/Z：12×11×13mm； |
最小运动量X/Y/Z：0.1 μm ; |
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角度行程θX/θY/θZ：11×13×11°； |
最大速度：10mm/s。 |
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水平面负载/任意安装角度下负载：2Kg； |
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