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高精度小型定位机器人-H-811
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产品编号
所属分类
高集成度，小负载系统
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产品详细描述
参数
H811是支持真空选配项的最小体积型号，真空版本兼容高达10的-6百帕真空度。
技术参数：
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尺寸：直径136×115mm； |
重复精度X/Y/Z：±0.3，±0.3，±0.1μm； |
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行程X/Y/Z：34×32×13mm； |
最小运动量X/Y/Z：0.5，0.5，0.2 μm ; |
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角度行程θX/θY/θZ：13×13×42°； |
最大速度：10mm/s。 |
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水平面负载/任意安装角度下负载：5/2.5Kg； |
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