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CCI-HD-非接触式超精密三维表面轮廓测量仪
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所属分类
轮廓测量仪
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产品详细描述
参数
CCI HD是一种先进的非接触式光学超精密三维表面轮廓测量仪。它将世界一流的非接触式测量功能与先进的薄膜和厚膜测量技术合为一体。实际测量中噪音低于0.8 Å (0.08 nm) 。该系统具有极高的测量分辨率,在垂直方向可以达到0.01 nm。通过对表面进行多达百万数据采集点的完整扫描,TalySurf CCI能够更加真实地反映样本的表面形貌特征。
CCI HD适用范围十分广泛。通过更换镜头,CCI HD可实现对多种类型的表面的检测;高度灵活的光学系统具有全自动工作台与多种自动测量模式,简化、便利了系统的操作;与CCI HD配套使用的最新测量软件,可使用全球通用的各种二维、三维表面参数对样本进行分析、模拟和量化。
特点:
● 超高的测量分辨率
● 横向0.4 µm,垂直方向高达0.01 nm
● 超过百万个标准数据采集点
● 噪音低于0.8 Å (0.08 nm)
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