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双极电容位移传感器


电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。

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  • 产品描述
    • 商品名称: 双极电容位移传感器
    • 商品编号: 1183807135939186688

    电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。

    电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。

    非接触测量意味着没有影响测量的寄生干扰,不受摩擦力和迟滞的影响。

    双极电容传感器有更好的性能。

     

    特点:

    ◆ 位置、运动、振动的非接触测量

    ◆ 量程从20微米到500微米,甚至更宽

    ◆ 皮米级位移分辨率,10KHz的带宽

    ◆ 耐高温,长时间稳定性(<0.1nm/3h)

    ◆ 无磁及真空环境兼容

     

     

    型号

    测量范围(µm

    精度 (%量程)

    线性度 (%) 

    D-015.00

    15

    <0.0005

    <0.01

    D-050.00

    50

    <0.0005

    <0.01

    D-100.00

    100

    <0.0005

    <0.01

产品型号

适用波长

〔nm〕

外径 φD

〔mm〕

厚度 t

〔mm〕

反射率

〔%〕

损失

〔ppm〕

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