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双极电容位移传感器
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产品编号
所属分类
单/双极电容位移传感器
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产品详细描述
参数
电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离，位移，间距，位置，长度或其它线性尺寸关系的几何量。
非接触测量意味着没有影响测量的寄生干扰，不受摩擦力和迟滞的影响。
双极电容传感器有更好的性能。
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特点： ◆ 位置、运动、振动的非接触测量 ◆ 量程从20微米到500微米，甚至更宽 ◆ 皮米级位移分辨率，10KHz的带宽 ◆ 耐高温，长时间稳定性（<0.1nm/3h） ◆ 无磁及真空环境兼容 |
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型号 |
测量范围（µm） |
精度 (%量程) |
线性度 (%) |
|
D-015.00 |
15 |
<0.0005 |
<0.01 |
|
D-050.00 |
50 |
<0.0005 |
<0.01 |
|
D-100.00 |
100 |
<0.0005 |
<0.01 |
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无
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单极电容位移传感器
