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关于技术指标的定义和专业词
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关于技术指标的定义和专业词

  • 分类：技术参考
  • 作者：
  • 来源：
  • 发布时间：2015-05-18
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【概要描述】以产品的中心的位置（上板和下板在同一位置的情况下）作为基准点，用正，负表示。

关于技术指标的定义和专业词

【概要描述】以产品的中心的位置（上板和下板在同一位置的情况下）作为基准点，用正，负表示。

  • 分类：技术参考
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技术指标的定义
技术指标

迈微信

1
型号
 
2
反手对称型号
 
3
台面尺寸
 
4
行程

以产品的中心的位置（上板和下板在同一位置的情况下）作为基准点，用正，负表示。（在产品目录中有外形图的情况下，以外形图为基准，往一个方向移动为正几毫米，往相反方向移动为负几毫米）

上述的标准不能作为基准的情况下，用整个行程表示。

有粗调，微调的情况下，分别表示它们的行程。

5
导轨形式

TSD导轨

十字交叉滚柱导轨

燕尾槽导轨

螺杆驱动方式

滑动导轨

V型导轨

※也有左侧以外的特殊导轨，请参照各自的产品目录。

6
主要材料
表面处理
表示产品的主要材料成分和表面处理
7
行程/每转
表示操作部分（微分头或精密调节螺杆）旋转一圈时的读数
8
微分头的操作位置
面对平台时微分头的安装方向，用中心或者侧面来表示。
9
承载能力
通常表示在平台中央处可搭载的最大均布载荷。（静负载）
※超出额定承载能力使用时，请咨询。
10
移动精度：直线度
（单位：µｍ）
平台在整个行程范围内，以起点到终点的直线为基准，表示了偏离此基准线的范围。
11
移动精度：俯仰
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的前后方向上的角度变化。
12
移动精度：偏摆

: 转动
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的左右方向上的角度变化。

从起点到终点的整个行程范围内，绕运动轴方向的旋转角度变化。
13
最大承载力矩
（单位：N⋅ｍ）
当平台中心与载荷中心发生偏离时，平台可承受的最大力矩。
14
扭矩刚度
（单位："/N⋅cｍ）
是指在偏离台面中心的位置上施加载荷时（即台面中心和载荷中心不一致。）的平台的刚度。通常是指，距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时，台面发生的倾斜角度（单位：秒）。
15
平行度
平台上面相对于平台下面的平行度。
16
移动平行度
在整个行程范围内，平台上面相对于平台下面的平行度。
17
自重
表示产品的自身重量
技术指标中的专业术语
直线度（水平方向） [单位: µm]
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按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的水平方向上，测出实际位置和水平位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的最大值（差）为水平方向的直线度。

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直线度（垂直方向） [单位: µm]
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按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的垂直方向，测出实际位置和垂直位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的最大值（差）为垂直方向的直线度。

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俯仰 [单位: ”]
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按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置对垂直方向的倾斜角度进行测量。定义其最大角度差为俯仰角度误差。

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偏摆 [单位: ”]
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按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置上，测量相对水平方向的左右摆动角度。定义其最大角度差为左右摆动误差。

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平行度 [単位: µm]

将固定在平板上的百分表打在平台的上，移动整个平台，进行测量。百分表显示的最大值为平行度。

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移动平行度 [单位: µm]

将平台等固定在平板上。将固定在平台上的百分表的表头打在基准平面上，全行程移动，进行测量。百分表显示的最大值为移动平行度。

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同心度 [单位: µm]

将旋转平台固定在平板上，将百分表放在旋转平台的外周侧面，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的最大值的一半（偏离中心位置）为同心度。

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端面跳动 [单位: µm]

将固定在平板上的百分表打在旋转平台的上端边缘，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的最大值为端面跳动。

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上一个: 微分头以及精密螺杆的安装系统图
下一个: 不锈钢平台在真空环境中的使用说明
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