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  • 产品名称: 单轴压电扫描台

单轴压电扫描台

经典纳米定位系统

超高精度

应用于高动态性能场合

采用PICMA压电触动,高可靠性

采用电容传感器,纳米测量范围内获得高位置精度及高可靠性

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

 

 

 

P-752

超高导向精度  

1

尺寸:66~84×40×13.5 mm ;

重复精度:±1~±2nm;

闭环行程:15~30μm;

角度串扰(θY/θZ):±1μrad;

负载:30N;

刚度:30N/μm;

闭环分辨率:0.1nm;

无负载下自振频率:达3200Hz。

线性度:0.03%;

点击下载详细指标

 

 

P-753

LISA触动及纳米扫描台:可水平向和竖直向运动

1

尺寸:44~80×30×15 mm ;

重复精度:±1~±3nm;

闭环行程:12~38μm;

刚度:45N/μm;

负载:100N垂直方向使用,20N水平方向使用;

角度串扰(θY/θZ):±5~±10μrad;

闭环分辨率:0.05到0.2nm;

无负载下自振频率:达5600Hz。

线性度:0.03%;

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P-750

适用于大负载  

1

尺寸:115×115×25 mm ;

重复精度:±3nm;

闭环行程:75μm;

角度串扰(θY/θZ):±10μrad;

负载:100N;

刚度:12.5N/μm;

闭环分辨率:1nm;

无负载下自振频率:达600Hz。

线性度:0.03%;

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P-620~P-629

PIHera:提供XY和Z向版本  

 

1

尺寸:30×30×12 ~100×100×22.5 mm ;

角度串扰(θY/θZ):±3~±10μrad;

闭环行程:50~1500μm;

重复精度:±1nm;

负载:10N;

刚度:0.4N/μm;

闭环分辨率:0.2nm;

无负载下自振频率:达1100Hz。

线性度:0.02%;

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压电陶瓷Z向扫描台

竖直向运动,紧凑型精密定位台

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

采用PICMA压电触动,高可靠性

提供开始设计版本

 

 

P-620.Z/P-621.Z/P-622.Z

结合长行程应用的高精度平台 PIHera:提供XY和Z向版本

1

尺寸:30×30×15 ~50×50×17.5mm;

重复精度:±1nm;

闭环行程:达250μm;

角度串扰(θY/θZ):<80μrad;

负载:10N;

刚度:达0.6N/μm;

传感器:电容传感器;

无负载下自振频率:达1000Hz。

闭环分辨率:达0.1nm;

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线性度:0.02%;

 
 

 

P-611.Z

高性价比 提供X,XY和XZ向版本

 

1

尺寸:44×44×27 mm ;

重复精度:<10nm;

负载:15N;

角度串扰(θY/θZ):±20μrad;

闭环行程:100μm;

刚度:达0.45N/μm;

传感器:应变片传感器;

无负载下自振频率:达460Hz。

闭环分辨率:2nm;

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线性度:0.1%;

 

 

 

P-612.Z

带通孔紧凑型版本 提供XY向版本

1

尺寸:60×60×27 mm ;

线性度:0.2%;

闭环行程:100μm;

重复精度:±4nm;

负载:15N;

刚度:0.63N/μm;

传感器:应变片传感器;

无负载下自振频率:490Hz。

闭环分辨率:1.5nm;

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S-303

高动态压电移相平台 在开环应用中采用Picoactuator版本获得高线性度

 

1

尺寸:直径30×10mm,开环版本带直径8mm通孔

线性度:1%;

闭环行程:2μm;

重复精度:0.7nm;

负载:0.5N;

无负载下自振频率:25000Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:0.03nm;

 

Z向和Tip/Tilt压电扫描台

超大通孔

毫秒级单步稳定时间

多轴运动超高精度并联机构

无摩擦,柔性铰链机构回程差为零

采用PICMA压电触动,高可靠性

 

 

P-541.ZC/P-541.TC

参考版 提供XY向版本

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尺寸:150×150×16.5 mm ;

tip/tilt分辨率:0.08μrad;

运动轴:Z,θX,θY;

线性度:0.03%;

中孔:66×66mm;

重复精度:±2nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<15μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±0.6mrad;

刚度:0.8N/μm;

负载:50N;

无负载下自振频率:410Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:0.5nm;

 

 

 

P-541.ZS/P-541.TS

精密版 提供XY向版本

 

1

尺寸:150×150×16.5 mm ;

tip/tilt分辨率:0.25μrad;

运动轴:Z,θX,θY;

线性度:0.2%;

中孔:66×66mm;

重复精度:±10nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<15μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±0.6mrad;

刚度:0.8N/μm;

负载:50N;

无负载下自振频率:410Hz。

传感器:应变片传感器;

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闭环分辨率:2.5nm;

 

 

 

P-733.Z

超高导向精度参考版 提供XY向,XYZ向版本,及真空版

1

尺寸:100×100×25 mm ;

线性度:0.03%;

运动轴:Z;中孔:50×50mm;

重复精度:±2nm;

闭环行程:100μm;

角度串扰(θY/θZ):<5μrad;

负载:50N;

刚度:2.5N/μm;

传感器:电容传感器;

无负载下自振频率:700Hz。

闭环分辨率:0.3nm;

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P-518/P-528/P-558

在Z向和偏摆向高动态响应特性参考版 提供XY向,XYZ向版本,及真空版

 

1

尺寸:150×150×30 mm ;

tip/tilt分辨率:0.05μrad;

运动轴:Z和Z,θX,θY;

线性度:0.03%;

中孔:66×66mm;

重复精度:达±5nm;

闭环行程:达200μm;

角度串扰(θY/θZ):<100μrad;

闭环tip/tilt行程θX,θY:±1mrad;

刚度:达4N/μm;

负载:100N;

无负载下自振频率:达570Hz。

传感器:电容传感器;

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闭环分辨率:1nm;

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