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  • 产品名称: 紫外用铝膜增反射平面反射镜

提高了200—300nm 紫外波长范围的反射率,并加镀了防止划痕和铝膜劣化的保护膜

 

· 提高了200—300nm 紫外波长范围的反射率,并加镀了防止划痕和铝膜劣化的保护膜。

· 受入射角影响小,方便紫外光的光路设计。

· 可用于UV露光装置,分光分析装置,DUV影像系统。

 

共同指标:

材料

BK7

光学膜

AL+ 多层电介质膜

面精度测量法

采用ZYGO公司激光干涉仪测量

面精度测量用波长

632.8nm

基板面精度 λ/10

平行度

小于3分

表面质量 40-20

有效尺寸范围

90%

产品指南:

1 详细技术说明:
PDF

2 技术参考信息: 
反射镜选择指南

3 产品目录下载
Sigma光学元件及镀膜产品

 

 

注意:

 

  • 反射率曲线是样品的实测值,而且可能随制造批次不同而变化。
  • 检查光路和调整光轴时,请一定戴好激光防护镜。
  • 面精度是镀膜前的反射波面精度。镀膜后的反射波面精度将会有变化。

 

技术参数:

 


适用波长范围
[nm]
直径D
[mm]
厚度t
[mm]
反面状态
反射率
[%]
入射角
[°]
型号
170—400
ø12.7
5
毛面
≥ avg. 85
45
TFAE-12.7C05-10NEW
170—400
ø25.4
5
光面
≥ avg. 85
45
TFAE-25.4C05-10NEW
170—400
ø30
5
光面
≥ avg. 85
45
TFAE-30C05-10NEW
170—400
ø50
8
光面
≥ avg. 85
45
TFAE-50C08-10NEW
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