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  • 产品名称: 西格玛精密平台(压电陶瓷)

采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

◦采用了独特的数字位移传感器,可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
◦采用压电陶瓷作为驱动机构,环控制时的行程为90μm〜100μm,理论分辨率达1nm。
◦位置检测采用了数字位移传感器(频率→数字变换方式的微小位移传感器),闭环控制时的显示分辨率为10nm。
◦使用FINE系列控制器,可实现高速定位。
◦重复驱动SFS-H(直动)系列平台,可达10〜15Hz的频率。使用FINE-01γ的 模拟信号驱动时,可达25Hz。

外形图
■SFS-H40X(CL)

■SFS-H40Z(CL)

■SFS-H60X(CL)

■SFS-H60XY(CL)

■SFS-H60Z(CL)

■SFS-H60XYZ(CL)

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