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  • 产品名称: 单极电容位移传感器

电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。

非接触测量意味着没有影响测量的寄生干扰,不受摩擦力和迟滞的影响。

电容传感器具有非接触式绝对测量原理,可对位移、间距变化、振动、液体膜厚度等进行(亚)纳米级的精密测量。提供了两种类型的单极电容传感器:柱状电容传感器和片状电容传感器,为不同集成需求的用户提供了广泛的产品选择。

特点:

◆ 位置、运动、振动的非接触测量

◆ 量程从20微米到500微米,甚至更宽

皮米级位移分辨率,10KHz的带宽

◆ 耐高温,长时间稳定性(<0.1nm/3h)

◆ 无磁及真空环境兼容

 

         

 

测量原理

单极电容传感器的电极面和被测导体面之间建立了一个均匀电场,电极面和被测面之间的间距变化正比于电场强度变化,从而正比于信号处理器的电压输出变化。 单极电容传感器测量的是电极面和被测面之间的场强电容变化而精确测量间距位移变化,非常便于安装和使用。

 

        

 

测量精度

和传统的探头式电感传感器或应变片传感器相比,单极电容传感器具有更好的测量精度、线性度、分辨率、稳定性和带宽。

非接触式测量消除了测量过程中的摩擦力影响,保证了极高的测量分辨率和测量线性度。

护环电极设计提高了测量线性度

单极电容传感器的电极设计对测量线性度具有较大的影响。中国PI公司采用了先进的护环电极设计,消除了传感器电极边缘的非均匀电场效应,保证了电极面和被测面之间具有一个稳定均匀的电场测量区域,因此大大提高了电容传感器的测量线性度。

            

部分参数:

型号

测量范围(µm

精度(%量程)

线性度(%)

D-510.020

20

<0.002

<0.2

D-510.050

50

<0.002

<0.2

D-510.100

100

<0.002

<0.2