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  • 产品名称: SpaceFAB精密微型机器人 SF-6500 PS

 

尺寸:276×210×57mm

最小运动量X/Y/Z0.005μm

行程X/Y/Z13×13×10mm

最大速度:10mm/s

角度行程θX/θY/θZ12°×12°×12°

电机类型:NEXACT piezo stepping drive

负载:2Kg

 

重复精度X/Y/Z±0.008μm

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