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  • 产品名称: 光纤定位用六自由度机器人 H-206

 

光纤定位完美解决方案,包含光纤对芯综合扫描算法,致动器分辨率可达33nm

 

技术参数:

尺寸:直径228×220×158mm

重复精度X/Y/Z±0.3μm

行程X/Y/Z12×11×13mm

最小运动量X/Y/Z0.1 μm ;

角度行程θX/θY/θZ11×13×11°

最大速度:10mm/s

水平面负载/任意安装角度下负载:2Kg

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