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  • 产品名称: 高精度小型定位机器人 H-811

 

H811是支持真空选配项的最小体积型号,真空版本兼容高达10-6百帕真空度。

 

技术参数:

尺寸:直径136×115mm

重复精度X/Y/Z±0.3±0.3±0.1μm

行程X/Y/Z34×32×13mm

最小运动量X/Y/Z0.50.50.2 μm ;

角度行程θX/θY/θZ13×13×42°

最大速度:10mm/s

水平面负载/任意安装角度下负载:5/2.5Kg

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