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  • 产品名称: 光学样板

光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。

 

  • 光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。
  • 把被测件放在光学平板上就会出现牛顿环,根据牛顿环的数量和形状,检验和测量被测件的面精度。牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)。
  • 每个光学样板都被放置在一个保护木合内,并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。

 

材料
SFS(人造熔融石英)
ZD(ZERODUR®)或 CCZ(CLEARCERAM®-Z)
面精度测量用波长
632.8nm
面精度测量法
Zygo 激光干涉仪
有效通光孔径
实际尺寸的95%
平行度
≤3分
反面
简易抛光
表面质量
20 - 10

产品指南:

1 详细技术说明:
PDF

2 技术参考信息: 
基板选择指南

3 产品目录下载
Sigma光学元件及镀膜产品


注意:

 

  • 采用牛顿环方法测量时,由于和光学样板接触,所以存在擦伤被测件表面的可能。
  • 西格玛光机的光学样板标准和JIS规格不一样。
  • 在光学样板的侧面,有一个箭头指示正面。

 

技术参数:

 


D
[mm]
t
[mm]
材料
反射面精度
面精度
[μm]
PV值
平行度
型号
ø30
10
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-30C10-6
ø30
10
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-30C10-12
ø30
10
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-30C10-20
ø40
10
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-40C10-6
ø40
10
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-40C10-12
ø40
10
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-40C10-20
ø50
10
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-50C10-6
ø50
10
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-50C10-12
ø50
10
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-50C10-20
ø60
12
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-60C12-6
ø60
12
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-60C12-12
ø60
12
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-60C12-20
ø80
15
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-80C15-6
ø80
15
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-80C15-12
ø80
15
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-80C15-20
ø100
20
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-100C20-6
ø100
20
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-100C20-12
ø100
20
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-100C20-20
ø100
17
ZD/CCZ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPZP-100C17-6
ø100
17
ZD/CCZ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPZP-100C17-12
ø100
17
ZD/CCZ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPZP-100C17-20
ø130
25
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-130C25-6
ø130
25
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-130C25-12
ø130
25
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-130C25-20
ø130
20
ZD/CCZ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPZP-130C20-6
ø130
20
ZD/CCZ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPZP-130C20-12
ø130
20
ZD/CCZ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPZP-130C20-20
ø150
30
SQ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPQP-150C30-6
ø150
30
SQ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPQP-150C30-12
ø150
30
SQ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPQP-150C30-20
ø150
25
ZD/CCZ
λ/6
0.1
0.17
≤3分
HMPZP-150C25-6
ø150
25
ZD/CCZ
λ/12
0.05
0.08
≤3分
HMPZP-150C25-12
ø150
25
ZD/CCZ
λ/20
0.032
0.05
≤3分
HMPZP-150C25-20
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