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双极电容位移传感器
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电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。
单极电容位移传感器
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电容传感器适用于亚纳米级精确度的非接触测量。包括反应距离,位移,间距,位置,长度或其它线性尺寸关系的几何量。
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