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西格玛精密平台(压电陶瓷)


采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。◦采用了独特的数字位移传

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    • 商品名称: 西格玛精密平台(压电陶瓷)
    • 商品编号: 1183806748494548992

    采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。◦采用了独特的数字位移传

    采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

    ◦采用了独特的数字位移传感器,可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
    ◦采用压电陶瓷作为驱动机构,环控制时的行程为90μm〜100μm,理论分辨率达1nm。
    ◦位置检测采用了数字位移传感器(频率→数字变换方式的微小位移传感器),闭环控制时的显示分辨率为10nm。
    ◦使用FINE系列控制器,可实现高速定位。
    ◦重复驱动SFS-H(直动)系列平台,可达10〜15Hz的频率。使用FINE-01γ的 模拟信号驱动时,可达25Hz。

    外形图
    ■SFS-H40X(CL)

    ■SFS-H40Z(CL)

    ■SFS-H60X(CL)

    ■SFS-H60XY(CL)

    ■SFS-H60Z(CL)

    ■SFS-H60XYZ(CL)

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